Ứng dụng so sánh công nghệ xử lý chùm tia điện tử và công nghệ xử lý chùm ion

Ứng dụng so sánh công nghệ xử lý chùm tia điện tử và công nghệ xử lý chùm ion

Nói chung, gia công chùm electron có hiệu suất xử lý cao hơn và phạm vi ứng dụng rộng hơn. Xử lý chùm ion là xử lý chính xác hơn, là tất cả các xử lý đặc biệt của xử lý chính xác nhất, tinh tế nhất.

Tùy thuộc vào mật độ năng lượng và thời gian phun năng lượng của nó, xử lý chùm electron có thể được sử dụng cho các loại gia công khác nhau như đục lỗ, cắt, khắc, hàn, xử lý nhiệt và quang khắc.

Phạm vi ứng dụng của xử lý chùm ion đang mở rộng và đổi mới. Hiện nay, xử lý chùm ion được sử dụng để thay đổi kích thước của các bộ phận và tính chất cơ lý của bề mặt. Được sử dụng để phủ bề mặt của quá trình xử lý lớp phủ ion; Được sử dụng để sửa đổi bề mặt của xử lý cấy ion.

Thiết bị xử lý chùm tia điện tử và chùm ion có hệ thống chân không, hệ thống điều khiển và cung cấp điện. Sự khác biệt chính là việc xử lý chùm electron sử dụng súng điện tử và xử lý chùm ion SỬ DỤNG hệ thống nguồn ion. So với xử lý chùm ion, xử lý chùm electron hiệu quả hơn và được sử dụng rộng rãi. Gia công chùm ion là phương pháp gia công chính xác và vi mô nhất trong số tất cả các phương pháp gia công đặc biệt.

Trong những năm gần đây, với sự phát triển nhanh chóng của ngành công nghiệp mạch tích hợp công nghệ nano và bán dẫn, xử lý chùm electron và công nghệ xử lý chùm ion tập trung với đa chức năng và độ phân giải cao đã nhận được sự chú ý chưa từng có, và chúng đã trở thành một phương tiện quan trọng của xử lý nanomet hiện tại.

Máy quang học chùm tia điện tử IKS PVD ， IKS-OPT2700, Chi tiết khác, liên hệ chào mừng iks.pvd@foxmail.com