Máy đo khối lượng chân không cao

Giới thiệu Máy đo lưu lượng khối lượng (MFC) bao gồm ba thiết bị cơ bản: cảm biến lưu lượng, bộ phận phân tách dòng chảy và bảng mạch in, nó chính xác đo tốc độ dòng chảy của khối lượng gây ra sự mờ nhạt của khối lượng khí dao động do sự thay đổi nhiệt độ. MFC được áp dụng rộng rãi trong các lĩnh vực bán dẫn và vi mạch ...

Gửi yêu cầu
Tải về

Giơi thiệu sản phẩm

Đặc điểm kỹ thuật

Dải chảy	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Độ chính xác	± 1,5% FS
Tính tuyến tính	± 1% FS
Khả năng lặp lại	± 0.2% FS
Thời gian đáp ứng	≤4 giây
Nhiệt độ coefficien t	Zero: ≤ ± 0.1% FS / ℃; Giai đoạn: ≤ ± 0.2% FS / ℃
Áp lực tối đa	3MPa
Nhiệt độ hoạt động	5 ℃ ~ 45 ℃
Niêm phong vật liệu	Viton, Neoprene
Thiết lập / tín hiệu đầu ra	0V ~ + 5.00V (Input Impedance> 100K, Dòng ra <>
Cung cấp năng lượng	+ 15V 50mA -15V 50mA
Kết nối điện	D phụ 15 chân nữ
Áp lực chênh lệch	0 .01 MPa
Tỉ lệ rò rỉ	1 × 10-8atm • cc / giây Ông (1 × 10-9 Pa • m ³ / giây Ông)
Khớp chuẩn	SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (Bên trong) × 1 Ống nối, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (Bên trong) × 1 Hose Coupler
Phương tiện truyền thông	Tất cả Gas
Emi	CE
Cân nặng	0.92kg

Giới thiệu

Bộ đo lưu lượng khối lượng (MFC) bao gồm ba thiết bị cơ bản: cảm biến lưu lượng, vòng tránh dòng chảy và bảng mạch in, nó đo chính xác tốc độ dòng chảy của khối lượng gây mòn khối lượng khí dao động do sự thay đổi nhiệt độ. MFC được ứng dụng rộng rãi trong các lĩnh vực chế tạo chất bán dẫn và IC, khoa học vật liệu đặc biệt, công nghiệp hoá chất, ngành công nghiệp dầu khí, công nghiệp dược phẩm, bảo vệ môi trường, nghiên cứu hệ thống chân không, vv

Tính năng, đặc điểm

◆ Độ chính xác cao, tuổi thọ dài, khả năng lặp lại tuyệt vời

◆ phản ứng nhanh, khởi động mềm, độ tin cậy tốt

◆ Phạm vi áp suất hoạt động rộng (hoạt động tốt ở áp suất cao hoặc tình trạng chân không)

◆ hoạt động dễ dàng và tiện lợi

◆ Nó có thể được cài đặt bất cứ nơi nào cần thiết và kết nối với máy tính để thực hiện kiểm soát tự động.

Ứng dụng tiêu biểu

Các ứng dụng điển hình của MFC bao gồm các thiết bị xử lý vi điện tử như khuếch tán, oxy hóa, epitaxy, CVD, plasma, khắc, sputtering, ion implantation và các lĩnh vực khác như thiết bị hút chân không, nóng chảy sợi quang học, thiết bị phản ứng vi, , hệ thống kiểm soát dòng chảy mao dẫn, sắc ký khí và các công cụ phân tích khác.

Kích thước cài đặt