Các bước cơ bản của quá trình mạ chân không PVD
Apr 11, 2018| Quá trình tiền xử lý
Trang trí, nổ mìn, đánh bóng, thụ động, làm sạch, kẹp
Quá trình sơn
Sơ tán, sưởi ấm, kiểm tra tỷ lệ rò rỉ, bắn phá làm sạch, lớp phủ, làm mát ra
Sau xử lý
1. Vệ sinh: Đảm bảo rằng bề mặt của sản phẩm trước khi sơn sạch sẽ, làm sạch bề mặt, chất lượng lớp phủ tốt hơn có thể được đảm bảo.
2. Sơ tán: Sơ tán khí dư từ buồng chân không.
3. Sưởi: Lò và phôi được gia nhiệt cùng lúc để đẩy nhanh việc giải phóng khí dư.
4. Kiểm tra tốc độ tăng điện áp: Tỷ lệ rò rỉ khí và tỷ lệ phóng khí của lò thử.
5. Làm sạch Bombardment: Loại bỏ các tạp chất khỏi bề mặt của phôi để lộ bề mặt sạch.
6. Lớp phủ: Phim được lưu giữ.
7. làm mát: tránh quá trình oxy hóa và đổi màu của phôi.
Tại sao làm mát nó?
Sau khi quá trình sơn hoàn tất, nhiệt độ của buồng chân không lên đến 500 ° C. Nếu nó được sơ tán mà không làm mát, bề mặt của phôi gia nhiệt độ cao không bị mạ sẽ trở thành màu xanh vì phản ứng với không khí.
Làm thế nào để làm mát?
1. Để đóng van cao và máy đo chân không, và buồng chân không được tách ra khỏi nhóm bơm.
2. Khi người vận hành nhấn nút thông hơi N 2 , nitơ được kết nối trước sẽ được điền vào buồng chân không qua van lạm phát N 2 , và khi áp suất trong buồng chân không đạt đến áp suất đặt trước của công tắc áp suất, N 2 van lạm phát được đóng lại.
3. Buồng chân không được lấp đầy với một lượng lớn N 2 , và mức độ chân không là rất thấp, đó là thuận lợi hơn để dẫn nhiệt. Nó có thể rút ngắn thời gian làm mát và tăng hiệu quả sản xuất, và thời gian làm mát thực tế có thể giảm từ 90 phút xuống còn 60 phút.
4. Bởi vì heli có độ dẫn nhiệt cao hơn, làm mát heli nhanh hơn nitơ, nhưng chi phí cao hơn.
5. Chương trình làm mát nhanh cho thiết bị nước ngoài có thể rút ngắn thời gian làm mát xuống 50% thông qua làm mát chu kỳ làm mát của khí.
Những lý do cho thử nghiệm tăng áp lực
Môi trường chân không là yếu tố quan trọng nhất ảnh hưởng đến chất lượng lớp phủ cuối cùng. Trước khi sơn, tốc độ tăng áp phải được thực hiện để đảm bảo rằng các điều kiện môi trường chân không đáp ứng tiêu chuẩn sơn phủ.