Đặc điểm của mức độ chân không, đơn vị và phân chia vùng chân không

Đặc điểm của mức độ chân không, đơn vị và phân chia vùng chân không

IKS PVD, chúng tôi đang sản xuất thiết bị sơn chân không PVD, liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, iks.pvd @ foxmail.come

Nó không phải là rất hợp lý để sử dụng áp lực để đại diện cho mức độ chân không, đã được sử dụng trong lịch sử đo chân không bằng áp kế loại u.

Trong hệ thống chân không nói chung, đại lượng vật lý thủy tĩnh của áp suất khí trung tính đẳng hướng thường được sử dụng để thể hiện mức độ chân không. Do đó, việc đo độ chân không chỉ đến việc đo áp suất. Tuy nhiên, cần đặc biệt chú ý đến các điều kiện đo lường, đó là trạng thái đứng yên (chuyển động ngẫu nhiên), trạng thái ổn định và khí trung tính đơn hướng trong một bình chứa hữu hạn. Trong trường hợp này, phân phối vận tốc maxwell, định luật tán xạ cosin và khái niệm áp suất thủy tĩnh (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ρ gh) tương đối phù hợp với thực tế khách quan, việc đo độ chân không tương đối đơn giản và dễ dàng.

Theo định nghĩa về độ chân không, tốt hơn là biểu thị mức độ chân không theo mật độ phân tử n, và không phải là mâu thuẫn khi biểu thị mức độ chân không bằng áp suất. Khi đo áp suất, khí nói chung ở trạng thái cân bằng và thỏa mãn định luật phân phối vận tốc của maxwell, nghĩa là p = nkT là đúng. Nhiệt độ của khí không đổi tại thời điểm đo, do đó áp suất của khí p tỷ lệ thuận với mật độ phân tử n. Nói cách khác, áp suất là thước đo mật độ phân tử, do đó chân không có thể được biểu thị dưới dạng áp suất.

Trong nghiên cứu không gian, đối tượng nghiên cứu là sự chuyển động của không gian vô hạn (1 ~ 10 KMS - 1 hoặc cao hơn) và dưới tác động của không khí môi trường tích hợp, không ổn định, luật phân phối tốc độ Max và luật tán xạ cosin không nhất thiết, cũng không nhất thiết mất ý nghĩa vật lý ban đầu, do đó áp lực đo chân không phức tạp và khó khăn hơn.

Nói chung, nó là phổ biến và được sử dụng để thể hiện mức độ chân không bằng áp lực, nhưng nó không phải là duy nhất. Các tham số sau đây cũng có thể được sử dụng để thể hiện mức độ chân không:

Khi độ chân không rất cao, nghĩa là khi mật độ phân tử rất nhỏ, biến động thống kê là rất rõ ràng. Ví dụ: khi áp suất p = 10-12pa, dao động thống kê lớn hơn 5 lần 10-2 và áp lực đã mất đi ý nghĩa thực sự của nó. Vì vậy, trong một số trường hợp, áp suất chỉ là một chỉ số tương đối của các đại lượng khác .

1. Hỏi & Đáp

Đơn vị chân không?

Áp suất của khí được xác định bởi sự va chạm của phân tử khí trên bề mặt là tốc độ thay đổi thời gian của thành phần động lượng dọc của phân tử khí va chạm với diện tích bề mặt đơn vị, nghĩa là lực nhận được trên một đơn vị diện tích trong Pascal hoặc Pa.

1 pa = 1 Nm - 2

Trong kỹ thuật, đôi khi giá trị của pa quá nhỏ, kPa và MPa thường được sử dụng để thể hiện áp lực. Độ chân không thấp, đôi khi được biểu thị bằng "phần trăm chân không", chẳng hạn như bơm chân không vòng nước, bơm chân không pittông và bơm chân không rễ thẳng thường được biểu thị trong chân không đơn vị này. Khi áp suất p> 102Pa, phần trăm chân không là delta.

Trong đó: p0 - áp suất khí quyển tiêu chuẩn, Pa

Phân vùng chân không

Với một đơn vị đo độ chân không, độ chân không có thể được biểu thị định lượng. Tuy nhiên, hiện tại, phạm vi áp suất liên quan đến công nghệ chân không đã đạt tới 20 bậc độ lớn, để tạo thuận lợi cho việc sử dụng, đôi khi chỉ cần chỉ ra một cách đại khái phạm vi chung của độ chân không, thường được chia thành nhiều vùng gần như chân không . Các đặc tính vật lý của chuyển động phân tử khí ở trạng thái chân không và phạm vi hoạt động hiệu quả của bơm chân không và máy đo chân không được xem xét trên cơ sở phân chia các vùng.

Đối với việc phân chia các vùng chân không ở Trung Quốc, các điều khoản của công nghệ chân không (gb3163-1982) quy định như sau:

Chân không thô, chân không thấp và chân không cao được phân chia theo đường dẫn tự do trung bình của các phân tử khí so với kích thước đặc trưng d của bình chứa. Việc xem xét chính là liệu sự va chạm giữa các phân tử khí hay sự va chạm giữa các phân tử khí và thành của thiết bị đóng vai trò quyết định trong sự xuất hiện của các hiện tượng vật lý.

Ranh giới giữa chân không cao và chân không cực cao được đặt là 10-6Pa. Lý do chính là để xem xét các cơ chế hấp phụ vật lý chân không. Chỉ khi áp suất p <10-6pa là="" rõ="" ràng,="" thì="" bơm="" khuếch="" tán="" mới="" có="" thể="" thu="" được="" và="" áp="" suất="" được="" đo="" bằng="" ba=""> Đối với ranh giới giữa chân không cực cao và chân không cực cao, đó là do dao động thống kê (lớn hơn 5 * 10-2) xảy ra khi p <10-12>

Các vùng chân không ở trên được chia thành các vùng đại diện cho một phạm vi áp suất, vì lý do đó áp lực vẫn được biểu thị bằng độ. Tuy nhiên, trong chân không thấp, chân không cao, chân không rất cao và chân không rất cao, áp suất được đề cập về cơ bản là khác nhau, chỉ là một dấu hiệu tương đối của các đại lượng khác.

Các đặc tính vật lý của chân không, bơm chân không và máy đo chân không được sử dụng ở mỗi vùng được trình bày chi tiết trong bảng 1.

Với sự phát triển của công nghệ chân không, sự phân chia các vùng chân không cũng đã thay đổi.