Phân loại mục tiêu phún xạ Cathron Magnetron

Mục tiêu phún xạ magnetron là bộ phận cơ khí phủ chân không, và cũng là một linh kiện điện tử. Từ quan điểm của việc sử dụng nguồn cung cấp năng lượng mục tiêu, chúng tôi quan tâm hơn đến hiệu suất điện của nó.

1. Theo cấu trúc cơ khí

Theo cấu trúc cơ khí và hình dạng mục tiêu, mục tiêu phún xạ magnetron chủ yếu được chia thành các mục tiêu magnetron phẳng (hình chữ nhật hoặc hình tròn), các mục tiêu magnetron cưỡng bức đồng trục, mục tiêu magnetron hình nón vòng (súng S) và nhiều mục tiêu khác.

2. Theo vật liệu mục tiêu phẳng

Mục tiêu phẳng được chia thành mục tiêu magnetron hình chữ nhật phẳng, mục tiêu magnetron tròn phẳng và mục tiêu phẳng cấu trúc hỗn hợp hai arc-magnetron.

3. Theo từ trường

(1) Các mục tiêu magnetron có thể được phân loại thành nam châm vĩnh cửu và nam châm điện tùy thuộc vào chế độ hình thành từ trường.

(2) Theo sự khác biệt về vị trí bố trí và phân phối của mục tiêu magnetron trong buồng chân không và sự khác biệt về trạng thái phân phối của các cực từ và các đường từ, nó có thể được chia thành phún xạ magnetron cân bằng và phún xạ magnetron không cân bằng (phún xạ magnetron không cân bằng) có thể làm cho plasma mở rộng ra khỏi bề mặt mục tiêu để cải thiện chất lượng lớp màng bề mặt và hiệu ứng lắng đọng ion diện tích lớn của phôi gia công.) Hệ thống phún xạ magnetron từ trường đa mục tiêu có thể đạt được tỷ lệ lắng đọng cao và màng mỏng chất lượng cao hơn .

(3) Từ trường không cân bằng của mục tiêu phún xạ magnetron có thể thu được không chỉ bằng cách thay đổi kích thước và cường độ của nam châm vĩnh cửu bên trong và bên ngoài mà còn bởi hai bộ cuộn dây điện từ hoặc sử dụng cấu trúc hỗn hợp của cuộn dây điện từ và vĩnh viễn nam châm, và cũng thêm các solenoids bổ sung giữa cathode và đế để thay đổi từ trường giữa cực âm và đế và kiểm soát tỷ lệ ion dương và nguyên tử trong lắng đọng để có kết quả tốt nhất.