Phân loại mục tiêu phún xạ magnetron

Mục tiêu phún xạ magnetron là bộ phận cơ khí phủ chân không, nhưng cũng là linh kiện điện tử công suất. Từ quan điểm của việc sử dụng nguồn cung cấp năng lượng mục tiêu, chúng tôi quan tâm hơn đến hiệu suất điện của nó. Bài viết này phân loại mục tiêu phún xạ magnetron theo các loại khác nhau.

1. Theo cấu trúc cơ khí

Khi được phân loại theo cấu trúc cơ khí và hình dạng mục tiêu, và mục tiêu phún xạ magnetron chủ yếu bao gồm các mục tiêu magnetron (hình chữ nhật hoặc hình tròn), mục tiêu từ hình trụ đồng trục (được chia thành nam châm quay hoặc ống mục tiêu xoay, và "nam châm di chuyển lên và xuống" ...) và mục tiêu magnetron hình nón hình tròn (súng S) và vân vân.

2. Theo mục tiêu Planar

Các mục tiêu phẳng được chia thành các mục tiêu magnetron hình chữ nhật phẳng, mục tiêu magnetron tròn phẳng, và mục tiêu phẳng cấu trúc hỗn hợp hai arc-magnetron.

3. Theo Từ trường

(1) Các mục tiêu magnetron có thể được phân loại thành nam châm vĩnh cửu và nam châm điện tùy thuộc vào các phương pháp hình thành từ trường.

(2) Theo sự khác biệt về vị trí bố trí và phân phối của mục tiêu magnetron trong buồng chân không và sự khác biệt về trạng thái phân phối của các cực từ và từ trường, mục tiêu phún xạ magnetron có thể được chia thành phún xạ magnetron cân bằng và phún xạ magnetron không cân bằng (không cân bằng magnetron phún xạ có thể giúp plasma mở rộng ra khỏi bề mặt mục tiêu để cải thiện chất lượng lớp màng bề mặt của phôi gia công thô và hiệu ứng lắng đọng ion diện tích lớn). Hệ thống phún xạ magnetron từ trường đa mục tiêu khép kín có thể đạt được tỷ lệ lắng đọng cao và màng mỏng chất lượng cao hơn.

(3) Trường magnetron không cân bằng của mục tiêu phún xạ magnetron có thể thu được không chỉ bằng cách thay đổi kích thước và cường độ của nam châm vĩnh cửu bên trong và bên ngoài mà còn được tạo ra bởi hai cuộn dây điện từ hoặc sử dụng cấu trúc hỗn hợp của cuộn dây điện từ và nam châm. Ngoài ra, bổ sung thêm solenoids giữa cathode và chất nền để thay đổi từ trường giữa cực âm và đế có thể giúp kiểm soát tỷ lệ ion dương và nguyên tử trong lắng đọng để có hiệu ứng tốt nhất.