Phân loại của đồng hồ đo chân không
Jul 03, 2018| 1. Phân loại theo phương pháp hiệu chuẩn chân không
(1) Máy đo chân không tuyệt đối: đọc trực tiếp áp suất khí. Phản ứng áp lực (thang đo) của nó có thể được tính bằng hình dạng của nó hoặc được xác định bởi lực đo. Đồng hồ đo chân không tuyệt đối là chính xác cho tất cả các loại khí. Đồng hồ đo hình chữ U, đồng hồ đo nén và đồng hồ đo bức xạ nhiệt đều thuộc về đồng hồ đo chân không tuyệt đối.
(2) Máy đo chân không tương đối: Áp suất được đo bằng lượng liên quan đến áp suất khí. Nó không thể được thu nhỏ bằng phép tính đơn giản và phải được hiệu chỉnh theo tỷ lệ. Một máy đo chân không tương đối thường bao gồm một ống đo chân không (hoặc đầu đo) hoạt động như một bộ cảm biến và một thước đo sử dụng để kiểm soát và chỉ dẫn. Việc đọc có liên quan đến loại khí. Có nhiều loại máy đo chân không tương đối, chẳng hạn như đồng hồ đo chân không dẫn nhiệt và đồng hồ đo chân không ion hóa.
2. phân loại theo chân không đo lường nguyên tắc đo lường
2.1. Đo chân không đo trực tiếp
Loại máy đo chân không này đo trực tiếp lực trên một đơn vị diện tích, bao gồm:
(1) Máy đo chân không mức chất lỏng tĩnh: Áp suất được đo bằng chênh lệch mức chất lỏng ở cả hai đầu của ống hình chữ U.
(2) Máy đo chân không thành phần đàn hồi: Bề mặt của thùng chứa được kết nối với chân không chịu áp lực tạo ra biến dạng đàn hồi. Độ lớn của giá trị áp suất được đo bằng biến dạng đàn hồi.
2.2. Đo chân không đo gián tiếp
Khi áp suất là 10 -1 Pa, lực tác động lên bề mặt 1 cm 2 chỉ là 10 -5 N, và rõ ràng là khó đo một lực nhỏ như vậy. Tuy nhiên, sự thay đổi áp suất có thể được đo gián tiếp dựa trên những thay đổi về số lượng vật lý liên quan đến áp suất khí ở áp suất thấp. Loại máy đo chân không này bao gồm:
(1) Máy đo chân không nén: Nguyên tắc là áp dụng luật Boyle trên cơ sở của ống U, nghĩa là, một lượng khí nhất định được kiểm tra phải chịu nén đẳng nhiệt để tăng áp suất, do đó được đo bằng một máy đo chân không ống chữ U. Sau đó tính toán áp suất đo được bằng cách sử dụng mối quan hệ giữa thể tích và áp suất.
(2) Máy đo chân không dẫn nhiệt: Nó được thực hiện bởi nguyên tắc dẫn nhiệt của khí dưới áp suất thấp có liên quan đến áp suất. Đồng hồ đo chân không dẫn nhiệt thường được sử dụng là đồng hồ đo điện trở chân không và đồng hồ đo chân không cặp nhiệt điện.
(3) Máy đo bức xạ chân không nhiệt: Sử dụng nguyên lý bức xạ nhiệt và áp suất.
(4) Máy đo chân không ion hóa: Nguyên tắc các phân tử khí bị tác động và bị ion hóa bởi các hạt tích điện dưới áp suất thấp, và dòng ion tạo ra thay đổi theo công suất điện. Đồng hồ đo chân không ion hóa bao gồm máy đo chân không ion âm catốt nóng, máy đo chân không ion âm catot lạnh, máy đo chân không ion hóa phóng xạ và vân vân.
(5) Chỉ thị ống xả: Mức độ chân không được đo bằng điều kiện xả khí và bản chất của màu sắc và áp suất xả, và thường chỉ có thể được sử dụng như một phép đo định tính.
(6) Máy đo chân không nhớt: Nguyên tắc ma sát bên ngoài được sử dụng để đo áp suất. Bao gồm máy đo chân không màng và máy đo chân không rôto từ.
(7) Kính hiển vi do trường gây ra: Áp suất được tính bằng mối quan hệ giữa thời gian hấp phụ và thời gian hấp thụ và áp suất.
(8) Máy đo chân không áp suất một phần: Kỹ thuật phổ khối lượng được sử dụng để đo áp suất riêng của khí hỗn hợp. Đồng hồ đo thường được sử dụng là máy đo phổ khối tứ cực, phổ khối phổ cyclotron, và phổ khối phổ tần vô tuyến.