Hệ thống chân không siêu cao kết hợp

Hệ thống chân không siêu cao kết hợp

Đối với một số hệ thống chân không có yêu cầu đặc biệt, chẳng hạn như những hệ thống yêu cầu chân không cực cao hoặc chân không cực cao không có dầu, đồng thời đáp ứng nhu cầu bơm thô và có thể ứng phó với một lượng lớn khí thoát ra trong quá trình, hệ thống kết hợp có thể được sử dụng để đáp ứng các yêu cầu. QUẢ SUNG. 1 cho thấy sơ đồ hệ thống chân không của máy sơn chân không siêu cao không dầu. Máy bơm chính là máy bơm phún xạ ion, được trang bị một máy bơm thăng hoa titan để cải thiện độ chân không và xả một lượng lớn khí sinh ra từ các vật liệu bay hơi. Chân không cuối cùng có thể đạt 6,67 × 10-7Pa. Bơm sơ bộ với bơm rây phân tử làm bơm chính. Ngoài ra, hệ thống còn được trang bị bẫy hấp phụ - hệ thống bơm thô bơm cơ khí, khi áp suất lớn hơn 1333Pa, bơm cơ không dễ hồi dầu, bơm cơ hút trực tiếp vào buồng chân không, khi áp suất của buồng chân không thấp hơn 1333Pa, bơm cơ khí qua bẫy hấp phụ 9 từ buồng chân không bỏ qua.

1. Buồng chân không 2. Van cổng chân không cực cao 3. Bơm phún xạ ion 4. Bơm thăng hoa titan 5. Van chân không siêu cao6. Van xả 7. Van chân không cao 8. Bơm sàng phân tử 9. Bẫy hấp phụ 10. Bơm cơ khí
QUẢ SUNG. 1 Sơ đồ hệ thống chân không của máy sơn chân không siêu cao không dầu

Công ty IKS PVD, máy sơn trang trí, máy sơn dụng cụ, máy sơn quang học, dây chuyền sơn chân không PVD, dự án chìa khóa trao tay có sẵn.Liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, E-mail:iks.pvd@foxmail.com