Bơm khuếch tán đơn vị chân không siêu cao

Bơm khuếch tán đơn vị chân không siêu cao
Độ chân không cuối cùng của thiết bị chân không siêu cao với bơm khuếch tán làm bơm chính là 10-7 ~ 10-8Pa.
Để giảm ảnh hưởng của sự khuếch tán ngược của khí từ tầng phía trước của bơm khuếch tán và sự khuếch tán ngược của dầu bơm cơ học chặn ở mức độ chân không cuối cùng, một máy bơm khuếch tán với tốc độ bơm thấp có thể được lắp đặt ở tầng trước của bộ khuếch tán. bơm để giảm tỷ số nén và khuếch tán ngược. Nếu giếng thăng hoa titan được thêm vào phía trên đầu vào của bơm khuếch tán, áp suất riêng phần nitơ từ bơm khuếch tán có thể được giảm thêm và có thể thu được độ chân không siêu cao 10-11Pa.

Công ty IKS PVD, máy sơn trang trí, máy sơn dụng cụ, máy phủ quang học, dây chuyền sơn chân không PVD. Liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, E-mail: iks.pvd@foxmail.com