Ảnh hưởng của Arc nguồn hiện tại vào lắng đọng lệ Tin phim

Tốc độ lắng đọng có ảnh hưởng lớn đến hiệu suất của bộ phim thiếc. Bộ phim chuẩn bị tại một tỷ lệ cao lắng đọng là dày đặc hơn với tốt độ cứng và sức mạnh liên kết, trong khi màng mỏng chuẩn bị tại một tỷ lệ thấp hơn lắng đọng là lỏng hơn. Lắng đọng tỷ lệ và arc nguồn hiện tại có một mối quan hệ tuyệt vời, nghiên cứu đã cho thấy rằng lắng đọng, lệ TiN phim là tỷ lệ thuận với mật độ hiện tại để làm cực âm, và công thức tính toán của nó là:

R = Jm/eρ

Trong công thức, R-lắng đọng lệ màng mỏng; J-cathode hiện nay mật độ; m-trọng lượng phân tử của TiN; e-electron phí; Ρ-lý thuyết mật độ TiN

Hình 4 là một biến thể sơ đồ của độ dày màng với thay đổi nguồn cung hiện tại được đo bằng cách quét kính hiển vi điện tử trong nghiên cứu này. Có thể thấy rằng khi các nguồn cung hiện tại tăng lên, tỷ lệ lắng đọng và độ dày của bộ phim TiN lớp tăng, đó là trong các thỏa thuận hoàn chỉnh với công thức. Khi nguồn cung hiện tại là 40 A, tốc độ lắng đọng là rất thấp, và tốc độ lắng đọng TiN phim là 625nm/h. Khi nguồn cung hiện tại được tăng lên đến 100 A, tốc độ lắng đọng TiN phim đạt 1857nm/h theo các điều kiện tương tự.

Hình 4 độ dày của bộ phim TiN thay đổi nguồn cung hiện tại

Hình 5 máy hút buồng thay đổi nhiệt độ với nguồn cung hiện tại

Ngoài ra, nếu nguồn cung hiện tại tăng, nhiệt độ bề mặt của mục tiêu và nhiệt độ buồng chân không sẽ tăng lên (hình 5). Một mặt, không có thêm Ti bốc hơi từ mục tiêu, vì vậy nhiều hơn Ti hạt sẽ ion và tương tác với N ion hóa để tạo thành bộ phim thiếc. Mặt khác, ở bề mặt bề mặt (mẫu), do sự gia tăng nhiệt độ, quá trình khuếch tán hạt là dễ dàng hơn, vì vậy tỷ lệ lắng đọng của bộ phim tăng tốc. Đồng thời, do sự gia tăng nhiệt độ của buồng chân không, từ quan điểm của phản ứng hóa học, Ti và N có nhiều khả năng kết hợp thành tín, và do đó một số lượng lớn các ion N phản ứng, kết quả là sự gia tăng trong độ chân không, chân không buồng trong huyết tương thưa thớt, trở ngại của các hạt lên bề mặt của chất nền làm suy yếu, và thêm hạt đến bề mặt của chất nền (mẫu) và tiền gửi vào một bộ phim, do đó tăng tốc độ lắng đọng.