Ảnh hưởng của nguồn Arc hiện tại trên độ cứng của phim Tin
Jun 20, 2018| Độ cứng cao là một tính năng rất quan trọng của màng TiN, và độ cứng cao sẽ tương ứng với khả năng chống mài mòn tốt. Dòng nguồn vòng cung có ảnh hưởng lớn đến độ cứng của màng. Hình 1 cho thấy quy luật biến đổi độ cứng của màng TiN tại các dòng nguồn vòng cung khác nhau. Có thể thấy rằng độ cứng của màng TiN tăng theo sự gia tăng dòng nguồn cung. Độ cứng của màng TiN được chuẩn bị tại một nguồn dòng cung của hơn 80 A vượt quá HV2000.
Hình 1 Mối quan hệ giữa độ cứng của màng TiN và dòng nguồn vòng cung
Nhiệt độ của chất nền ảnh hưởng đến cấu trúc tăng trưởng của màng và do đó ảnh hưởng đến hiệu suất của nó. Khi nhiệt độ thấp, cấu trúc của màng mỏng là cấu trúc tinh thể cột tương đối lớn. Cấu trúc này khá thô ráp với mật độ thấp và rất nhiều lỗ hổng, do đó độ cứng của màng thấp. Với sự gia tăng dòng nguồn vòng cung, nhiệt độ của chất nền cũng tăng lên, và sự khuếch tán của các nguyên tử lắng đọng trên chất nền được tăng tốc, do đó cấu trúc màng biến đổi từ cấu trúc cột lỏng hơn và thô hơn thành cấu trúc tinh thể cột nhỏ hơn và nhỏ hơn . Đồng thời, các hạt trở nên mịn hơn và ranh giới hạt tăng cường bộ phim, vì vậy độ cứng của màng tăng lên.