Ảnh hưởng của công suất phún xạ lên tốc độ lắng đọng của màng mỏng ZAO

Hình 3 là một âm mưu phún xạ so với tốc độ lắng đọng của màng. Các thông số quá trình là: áp suất phản ứng là 0,7 Pa, tỷ lệ lưu lượng của O2 và Ar là 3/20, nhiệt độ lắng đọng là 200 ° C. Từ hình 3, người ta biết rằng tốc độ lắng đọng của màng mỏng ZAO gần như tuyến tính tăng lên với sự gia tăng của năng lượng phún xạ. Bởi vì trong quá trình sơn phun, tốc độ lắng đọng (R) tỷ lệ thuận với sản phẩm của mật độ thông lượng ion tới (J) và sản lượng phún xạ (Y), tức là:

R = CYJ

C là hằng số của các đặc tính của thiết bị phún xạ. Theo công thức trên, khi công suất phún xạ tăng, dòng phún xạ và điện áp tăng đồng thời, để mật độ dòng ion tới (J) và năng lượng ion tới (E) tăng, và mối quan hệ giữa năng lượng ion tới (E) ) và sản lượng phún xạ trong khoảng thời gian này cho thấy sự gia tăng tuyến tính gần đúng, và tốc độ lắng đọng của bộ phim cũng tăng xấp xỉ.

Trên đường cong của Hình 3, hai điểm 120W và 170W được chọn và vẽ như Hình 3.1, các thông số quy trình khác là nhất quán. Có thể thấy rằng khi tăng công suất, đường cong lắng đọng như toàn bộ di chuyển lên phía trên bên phải và duy trì sự giống nhau của hình dạng, có nghĩa là nó chỉ có thể tăng tỷ lệ lắng đọng hơn là giảm tác động của hiện tượng ngộ độc đích.

Hình 3 Mối quan hệ giữa công suất phún xạ và tốc độ lắng đọng

Hình 3.1 Mối quan hệ giữa tốc độ dòng O2 và tốc độ lắng đọng dưới mức phún xạ khác nhau