Chế tạo và ứng dụng mục tiêu nhôm titan cho lớp phủ PVD

Theo truyền thống, quá trình đúc và phương pháp luyện kim bột được sử dụng để sản xuất các mục tiêu hợp kim nhôm titan .

Nới lỏng và thu nhỏ các lỗ của mục tiêu hợp kim Titan-nhôm không thể tránh được bằng quá trình đúc. Các ống và phôi đúc bằng titan-nhôm có kích thước lớn không thể đảm bảo độ kín và chống thấm tốt khi sản xuất ống quay. Ngoài ra, độ dày thành ống giảm khi tường của ống bị khắc. Miễn là có một lỗ kết nối nới lỏng và chìm, niêm phong trở nên tồi tệ hơn. Sự rò rỉ sẽ làm cho ống mục tiêu phát sáng và phóng điện, hoặc một lượng lớn khí linh tinh tham gia vào phản ứng, khiến cho màng bị rơi hoặc màu sơn phủ sai. Trong trường hợp nghiêm trọng, nước được phun vào buồng chân không từ lỗ thu nhỏ, làm nhiễm bẩn khoang thật và bộ phận chân không.

Không có lỗi của nới lỏng và thu nhỏ lỗ bởi quá trình luyện kim bột. Tuy nhiên, từ quan điểm vi mô của luyện kim bột, nó cũng là vật liệu xốp. Do đó, để tạo ra một mục tiêu ống quay bằng titan titan, mật độ vật liệu phải lớn hơn 98.%, nhưng đáp ứng yêu cầu mật độ không có nghĩa là nó có thể được sử dụng. Nếu phôi nhôm titan có hàm lượng oxy cao và vi cấu trúc không hợp lý, nó không thể được sử dụng để sản xuất mục tiêu ống quay do áp lực nội bộ lớn. Do đó, có nhiều yêu cầu đối với sản xuất bột và phân phối kích thước hạt. Ngay cả khi vật liệu đáp ứng tất cả các điều kiện này, vòng nhôm luyện kim bột phải được gắn với ống thép không gỉ hoặc ống titan. Do hệ số giãn nở nhiệt lớn của nhôm titan, việc mở rộng vật liệu mục tiêu cục bộ có thể đạt từ 0,5 đến 1 m khi phún xạ, do đó phương pháp đúc liên kết truyền thống không thể giải quyết vấn đề này một cách hiệu quả. Có một hiện tượng rằng các thỏi nhôm titan được tách ra và năng lượng nhiệt trên bề mặt mục tiêu không thể được tiến hành và nổ. Sự gắn bó chặt chẽ của phôi liên kết là không đáng tin cậy, và chất lượng của mục tiêu hợp kim nhôm titan được phủ plasma là kém.

Gần đây, ngành công nghiệp đồng hồ, đồ trang sức và kính đòi hỏi lớp phủ trang trí bằng vàng hồng không chứa carbon và làm cho đáy của hoa hồng gần với màu vàng hồng trên bề mặt lớp phủ. Do đó, TiCN đã không thể đáp ứng các yêu cầu, và TiAlN là giải pháp hoàn hảo nhất. Đồng hồ và đồng hồ cấp thấp không có nhiều yêu cầu về độ dày và độ bóng của màng, vì vậy hầu hết chúng đều sử dụng mục tiêu nhôm titan hồ quang để gửi lớp phủ TiAlN, đồng hồ và đồng hồ thương hiệu cao cấp yêu cầu độ dày 1um trở lên với độ bóng cao. Các vòng cung không có lợi thế trong việc làm mịn độ dày của bộ phim do giọt. Hiện nay, cách tốt nhất là sử dụng mục tiêu ống quay để đặt lớp phủ TiAIN, màu của nó gần với vàng hồng, và độ bóng không bị ảnh hưởng sau khi độ dày tăng lên.