Tính năng đo chân không
Jul 02, 2018| 1. Dải áp suất đo rộng: 10 5 đến 10 -14 Pa.
2. Hầu hết các máy đo chân không thực hiện các phép đo gián tiếp. Khi áp suất từ 10 đến 10 Pa, lực trên mỗi đơn vị diện tích có thể đo trực tiếp. Tuy nhiên, hầu hết áp lực chân không cần phải được đo nhỏ hơn so với những mô tả ở trên và không thể đo trực tiếp. Các phép đo gián tiếp phải được thực hiện bằng cách sử dụng các đặc tính nhất định (chẳng hạn như dẫn nhiệt, độ nhớt và ion hóa) của các loại khí ở áp suất thấp.
3. Công nghệ đo lường số lượng phi điện được áp dụng chủ yếu. Vì công nghệ đo lường số lượng điện không có lợi thế về độ nhạy cao, đáp ứng nhanh, đo lường tự động và đường dài, vv, hầu hết các máy đo chân không đều sử dụng phương pháp này. Máy đo chân không điện tử bao gồm hai phần, điều khiển máy đo chân không và mạch đo lường điện tử (bộ phận điều khiển và chỉ thị). Gauge là một yếu tố nhạy cảm. Nó sử dụng các đặc tính nhất định của khí dưới áp suất thấp để chuyển đổi áp suất khí phi điện thành tín hiệu điện. Mạch đo sau đó khuếch đại và hiển thị tín hiệu điện đầu ra. Khi cần thiết, tín hiệu đầu ra sẽ được gửi đến máy ghi tự động và thiết bị điều khiển tự động để đạt được tự động hóa thiết bị chân không. Các điều kiện cần thiết để điều chỉnh việc chuyển đổi áp suất phi điện thành điện được cung cấp bởi bộ điều khiển của mạch đo.
4. Việc đọc máy đo chân không một phần có liên quan đến loại và thành phần của khí. Do đó, cần chú ý đặc biệt đến loại và thành phần của khí trong quá trình đo, nếu không nó sẽ gây ra lỗi lớn.
5. Độ chính xác đo không cao. Đo lường gián tiếp áp lực thường đòi hỏi năng lượng bổ sung để hỗ trợ. Năng lượng bổ sung có thể là năng lượng nhiệt, năng lượng điện, năng lượng cơ học và năng lượng phóng xạ. Bằng cách này, các lỗi đo lường được giới thiệu chắc chắn cùng lúc với việc giới thiệu năng lượng bổ sung. Do đó, máy đo chân không chính xác hơn so với các máy đo vật lý khác. Ví dụ, nếu độ không đảm bảo của máy đo tham chiếu đo chân không và dụng cụ chuẩn là (2 ~ 10) × 10-2 thì sai số đo của thiết bị làm việc nằm trong khoảng ± 20 × 10 -2 .