Các thông số chính ảnh hưởng đến màng phun

Các thông số chính ảnh hưởng đến màng phun

Tốc độ lắng đọng liên quan đến độ dày màng được lắng đọng trên đế theo thời gian đơn vị bằng vật liệu phun ra từ mục tiêu, tỷ lệ thuận với tốc độ phún xạ. Có các mối quan hệ sau:

qt = CIh

Qt - là viết tắt của tỷ lệ lắng đọng;

C - hằng số đại diện cho các đặc tính của thiết bị phún xạ;

I - đại diện cho dòng ion;

H - biểu thị tốc độ phún xạ.

Từ phương trình này có thể thấy rằng khi thiết bị phún xạ được cố định (nghĩa là C là tham số cố định của thiết bị phún xạ, thường được xác định bởi các tham số chính như khoảng cách cơ sở đích khi bắt đầu thiết kế) và khí làm việc được chọn, cách tốt nhất để cải thiện tốc độ lắng là tăng lưu lượng ion I.

Tốc độ hình thành màng bằng phương pháp phún xạ từ trường tỷ lệ thuận với công suất mục tiêu. Các yếu tố quyết định tốc độ lắng đọng là: mật độ năng lượng của vùng khắc, diện tích vùng khắc, khoảng cách cơ sở mục tiêu, vật liệu đích, áp suất khí, thành phần khí, v.v ... Các thông số được liệt kê ở trên được sắp xếp theo mức độ quan trọng chúng ảnh hưởng lẫn nhau, chẳng hạn như áp suất, mật độ công suất, diện tích ăn mòn, v.v. Ngoài ra, các tính chất nhiệt và cơ học của mục tiêu cũng hạn chế tốc độ phún xạ tối đa .

IKS PVD, công nghệ sơn chân không, liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, iks.pvd@foxmail.com