Làm sạch Plasma

Làm sạch bằng Plasma có nghĩa là sử dụng plasma để đạt được kết quả mà các phương pháp làm sạch thông thường không thể đạt được. Plasma là một trạng thái vật chất, còn được gọi là trạng thái vật chất thứ tư không thuộc về trạng thái rắn, lỏng và khí chung. Áp dụng đủ năng lượng cho khí để ion hóa nó trở thành trạng thái plasma.

Các thành phần "hoạt động" của plasma là các ion, electron, nguyên tử, các nhóm phản ứng, các nuclit ở trạng thái kích thích (trạng thái di căn), các photon và vân vân. Làm sạch bằng Plasma đề cập đến việc xử lý bề mặt của mẫu bằng cách sử dụng các tính chất của các thành phần hoạt động này để đạt được hiệu quả làm sạch và sơn phủ. Bề mặt của phôi được xử lý bằng hóa chất hoặc hành động vật lý để đạt được sự loại bỏ chất gây ô nhiễm ở mức độ phân tử, do đó cải thiện hoạt động bề mặt của phôi gia công. Các chất ô nhiễm được loại bỏ có thể chứa chất hữu cơ, nhựa epoxy, chất quang học, oxit, chất gây ô nhiễm vi hạt, vv, vì vậy việc vệ sinh bằng plasma là một loại làm sạch chính xác cao. Các quy trình làm sạch khác nhau nên được sử dụng cho các chất gây ô nhiễm khác nhau. Nói chung, làm sạch plasma được phân loại thành hóa chất làm sạch, làm sạch vật lý, và hóa chất vật lý làm sạch tùy thuộc vào khí quá trình được lựa chọn.