Một số biện pháp để cải thiện cường độ bám dính của giao diện của màng và chất nền

Một số biện pháp để cải thiện cường độ bám dính của giao diện của màng và chất nền

IKS PVD chăm sóc doanh nghiệp sơn PVD của bạn, liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, để biết thêm chi tiết, iks.pvd @ foxmail.com

Để có được lớp phủ có cường độ bám dính cao, ngoài việc xem xét hai yếu tố bên trong tạo điều kiện hấp phụ và loại bỏ ứng suất của màng trong quá trình tạo màng, cần phải thực hiện các biện pháp từ nhiều yếu tố bên ngoài ảnh hưởng đến độ bám dính sức mạnh của bộ phim

1. T chất nền phải được yêu cầu nghiêm ngặt

Chất nền là loại vật liệu được sử dụng rộng rãi hơn, hình dạng của nó sẽ khác nhau tùy theo cách sử dụng, chẳng hạn như chất nền chống ăn mòn màng mạ trang trí là các bộ phận của chính nó, và một nửa hướng dẫn Hugh và mạch tích hợp, một bản sao thường sử dụng mỏng tấm, nó có màng gắn vào như một phần của mạch và cũng có một số yêu cầu nhất định về hiệu suất của chất nền, chẳng hạn như yêu cầu có độ nhám và độ nhẵn bề mặt thấp hơn (nghĩa là bề mặt không phải là một mức độ phù hợp), đặc biệt là mỏng Mạch phim có chất nền, bề mặt phải nhẵn, phải đạt mức cao nhất đến thấp nhất trên khoảng cách diện tích đơn vị nhỏ hơn 25-1500nm;, cấu trúc vật liệu phải có mật độ cao. Thứ hai, chất nền phải có độ ổn định hóa học cao , không phản ứng với vật liệu màng, không bị giới hạn bởi việc sử dụng thuốc thử hóa học trong quá trình mạch màng mỏng, nhưng cũng đòi hỏi chất nền phải có độ ổn định nhiệt nhất định d Chống sốc nhiệt, để chịu được quá trình nướng và gia nhiệt; Độ dẫn nhiệt cao, để ngăn các thành phần mạch không bị quá nóng, và cần có độ bền cơ học nhất định, ngăn ngừa vỡ; Và hệ số giãn nở nhiệt phải bằng với bộ phim để ngăn chặn bộ phim bị vỡ do căng thẳng; Nếu sản xuất hàng loạt chi phí cơ chất nên thấp.

2. Chất nền phải được xử lý cẩn thận để mạ

Chất nền vào buồng phủ trước, bất kể yêu cầu lớp phủ bề mặt của nó như thế nào, nên cẩn thận trước khi xử lý mạ (làm sạch) thông qua quy trình để đạt được mục đích của phôi để khử nhiễm dầu và mất nước do tồn tại trên bề mặt dầu sẽ không Chỉ phá hủy buồng chân không của chân không, và dầu dưới sự phân hủy trạng thái nhiệt cũng có thể làm tăng sự phát triển của lớp màng trong quá trình thêm tạp chất, dầu mỡ bẩn bao gồm bụi, mồ hôi và bề mặt phôi, v.v. burr và mô lỏng lẻo trên bề mặt chất nền. Sau quá trình phủ electron, ion bắn phá để bề mặt của chất nền trước khi lớp phủ xuất hiện các phân tử

Độ sạch lớp nguyên tử, là một biện pháp quan trọng để cải thiện độ cứng của lớp phủ.

Các nguồn ô nhiễm của bề mặt chất nền chủ yếu như sau:

1) Tất cả các loại bụi bám dính trong quá trình xử lý, truyền, đóng gói và đặt các bộ phận .

2)   dầu bôi trơn đánh bóng và vết dầu mỡ dính vào các bộ phận trong quá trình xử lý, lưu trữ và vận chuyển

3) Màng oxy hóa hình thành trên bề mặt các bộ phận trong không khí ẩm;

4) Khí hấp thụ và hấp phụ trên bề mặt các bộ phận.

Trên những thứ bẩn thỉu này về cơ bản có thể sử dụng phương pháp làm sạch nhờn hoặc hóa chất để loại bỏ nó nên lưu ý là trong phôi sạch trong khi cũng phải đối diện với hộp đựng dụng cụ sử dụng đồng thời làm sạch và duy trì sự sạch sẽ, cũng không thể đạt được mục đích làm sạch mặt khác

3. Chất nền được nung nóng trong quá trình tạo màng

Nhiệt độ nền, kích thước hạt, quá trình tăng trưởng của hạt tăng tốc, giảm các khuyết tật đông tụ màng, tăng cường kết tinh lại, để tiếp tục hoàn thiện sự hình thành của màng và do đó có thể làm giảm ứng suất bên trong của màng và nhiệt độ cơ chất quá cao và nhiệt ứng suất trong màng tăng để giảm tổng ứng suất của màng, nhiệt độ gia nhiệt của chất nền đến mức tối ưu khi, thường không cao hơn 400oC .

4. Kiểm soát nhiệt độ nguồn bay hơi và áp suất hơi

Làm nóng nguồn bay hơi đến nhiệt độ bay hơi (áp suất hơi & amp; (nhiệt độ), một số nguyên tử kim loại để thoát khỏi pha rắn, ở một vận tốc nhất định bay ở nhiệt độ nguồn bay hơi cao hơn, không chỉ trên số lượng nguyên tử kim loại cần thoát ra, thoát ra và động năng của các nguyên tử kim loại là lớn, do đó, qua hàng rào nhiệt năng lượng, trong tấm cơ sở hình thành sự hấp phụ hóa học mạnh nhưng nhiệt độ nguồn bay hơi là quá cao, có thể làm cho áp suất hơi tăng nhanh, tốc độ lắng đọng được tăng tốc và ảnh hưởng hiệu suất của màng và ứng suất cho điều này, phải theo tính chất khác nhau của màng, kiểm soát nhiệt độ bay hơi tương ứng và áp suất hơi.

5. Màng cơ sở giữa chất nền và màng

Lớp phủ trước lớp màng cơ sở trên đế là một trong những biện pháp công nghệ để tăng cường độ bám dính của giao diện cơ sở màng. Ví dụ, khi sử dụng công nghệ mạ ion chân không để chuẩn bị các đầu nối điện bằng nhôm mạ bạc, độ hòa tan của bạc trong nhôm chỉ bằng 1%, nếu trên bạc trực tiếp, độ bền bám dính của nó kém Độ hòa tan trong nhôm và đồng) là 5,6%, độ hòa tan của nhôm trong đồng là 9,4%, độ hòa tan của bạc bằng đồng là 8%, do đó, đầu tiên mạ đồng trên nhôm làm màng cơ sở, sau đó có thể cải thiện đáng kể lớp mạ bạc với lớp phủ bạc trên bề mặt Hiệu suất bám dính kim loại gốc nhôm Và giống như pallala đồng mạ vàng trong thủy tinh hoặc gốm Độ bám dính kém, sau đó trước tiên và sau đó là màng palađi đồng mạ vàng, một lần nữa có thể cải thiện cường độ bám dính Ở dưới cùng của vật liệu màng hiện đang được sử dụng đa năng crom molybdenum niken titan, tantalum, vv kim loại.

6. Xử lý nhiệt được thực hiện trên đế sau khi tạo màng

Sau khi lắng đọng màng, có thể tiến hành xử lý ủ cần thiết, nhiệt độ có thể cao hơn một chút so với nhiệt độ lắng, hoặc các phần mạ sau khi tạo màng có thể được đặt ở nhiệt độ cao 400oC 8 giờ để cố định màng nhiệt độ cao. Cơ chế là tăng cường chuyển động nhiệt của các phân tử cơ sở màng, khuếch tán lẫn nhau tại giao diện và tạo thành lớp hợp kim có cường độ cao.

7. Chống bụi, ẩm và dầu trong quá trình phủ

Xóa bụi trong nhà, đặt nhà xưởng có độ sạch cao, giữ sạch chiều cao trong nhà là yêu cầu siêu kích thước của màng mạ Độ ẩm không khí diện tích lớn hơn, ngoại trừ lớp nền trước khi mạ chân không trong nhà và từng bộ phận trong buồng hút bụi, nghiêm túc muốn Nướng bằng gas Dầu, để tránh dầu vào buồng chân không, chú ý đến bơm khuếch tán dầu hồi dầu, bơm khuếch tán để đốt nóng các biện pháp cao phải được thực hiện Một mét máy tráng cho thí nghiệm sản xuất, với năm lớp tấm nhôm như một rào cản cơ học "là để đảm bảo rằng bơm khuếch tán dầu. Hơi nước không thể quay trở lại buồng chân không, làm giảm tốc độ chiết, nhưng cải thiện độ bám dính giữa các đế màng.