Đặc điểm của chân không đo lường

1. áp lực phạm vi đo: 10⁵~ 10^-14Pa.

2. hầu hết các máy đo chân không là phép đo gián tiếp, và các lực lượng của đơn vị diện tích có thể được đo trực tiếp chỉ khi áp lực là 10⁵để 10Pa. Tuy nhiên, hầu hết chân không đo áp suất là nhỏ hơn so với ở trên đã đề cập, không thể được đo trực tiếp, nên sử dụng một số đặc điểm của khí dưới áp suất thấp (ví dụ như dẫn nhiệt, độ nhớt và ion hóa, vv) cho phép đo gián tiếp.

3. phòng không-điện đo công nghệ được áp dụng. Do công nghệ đo lường không điện với độ nhạy cao, phản ứng nhanh, đo tự động và tầm xa có thể đạt được, hầu hết các chân không đo bằng cách sử dụng phương pháp này. Một máy đo chân không điện tử gồm có hai phần của một máy đo chân không và một mạch điện tử đo (đơn vị điều khiển và chỉ báo). Khổ là một yếu tố nhạy cảm. Nó biến khí áp suất của lượng không điện thành tín hiệu điện bằng cách sử dụng một số đặc điểm của khí dưới áp suất thấp, và sau đó khuếch đại và hiển thị các tín hiệu điện đầu ra của máy đo mạch đo. Khi cần thiết, ra tín hiệu được gửi đến thiết bị điều khiển tự động và tự động ghi nhận ra tự động hóa thiết bị hút chân không. Các yêu cầu để chuyển đổi-điện áp vào điện tích được cung cấp bởi các đơn vị kiểm soát của các mạch đo lường.

4. các bài đọc của một số đồng hồ đo chân không có liên quan đến các loại và các thành phần của khí. Do đó, đo lường nên đặc biệt chú ý đến các loại và các thành phần của khí trong khi đo; Nếu không nó sẽ gây ra một lỗi lớn.

5. đo lường chính xác là không cao. Trong quá trình gián tiếp đo áp suất, bổ sung năng lượng thường là cần thiết để hỗ trợ. Năng lượng bên ngoài có thể nhiệt năng, năng lượng điện, cơ khí năng lượng và năng lượng bức xạ. Bằng cách này, lỗi đo lường chắc chắn sẽ giới thiệu cùng lúc như năng lượng áp dụng được giới thiệu. Do đó, độ chính xác của chân không cụ đo là thấp hơn so với các dụng cụ đo thể chất.