Bơm ngưng tụ được hút để ngưng tụ khí trên bề mặt nhiệt độ thấp nhằm mục đích bơm

1) Bơm ngưng tụ được hút để ngưng tụ khí trên bề mặt nhiệt độ thấp nhằm mục đích bơm. Khi có một bề mặt lạnh trong buồng chân không, sự ngưng tụ sẽ xảy ra trên nó, có thể đóng vai trò trích khí. Đây là nguyên lý làm việc của bơm ngưng tụ đông lạnh và bẫy lạnh đông lạnh. Áp suất hơi bão hòa có liên quan chặt chẽ với nhiệt độ, và khi nhiệt độ xuống, áp suất hơi bão hòa giảm xuống.

Bảng 1 cho thấy thành phần tiêu chuẩn của khí quyển. Hình 1 cho thấy đường cong quan hệ nhiệt độ của áp suất hơi bão hòa của các loại khí khác nhau. Như có thể thấy từ hình 1, khi nhiệt độ giảm xuống 20K, ngoại trừ neon, hydro, heli và các loại khí khó ngưng khác, áp suất hơi bão hòa của tất cả các thành phần khác trong không khí thấp hơn 10-10 torr. Do đó, khi hộp kín chứa đầy không khí được làm mát đến 20K, chân không có thể đạt tới 1,2E-3 torr. Với giá 4.2k, chỉ còn lại helium và chân không lên tới 5e-5torr. Bề mặt lạnh của bơm ngưng tụ thường có thể được chọn vào khoảng 14-20k, và phương pháp xả bằng khí ngưng dễ dàng hoặc hút bụi bằng các bơm khác được áp dụng để giảm đáng kể lượng hydro, heli và khí ngưng tụ khó khăn khác trong bơm hệ thống. Một lượng nhỏ khí ngưng tụ khó rò rỉ vào hệ thống trong quá trình vận hành cũng có thể được loại bỏ bằng các máy bơm khác.

[bảng 1] thành phần khí quyển tiêu chuẩn

[QUẢ SUNG. 1] mối quan hệ nhiệt độ của áp suất hơi bão hòa của các loại khí khác nhau

IKS PVD, chúng tôi là nhà sản xuất máy sơn chân không từ Trung Quốc, biết thêm chi tiết, liên hệ: iks.pvd@foxmail.com