Làm việc nguyên tắc và đặc điểm kỹ thuật của đa Arc Ion mạ
Mar 20, 2018| Đa arc ion mạ là một lớp phủ mới chuẩn bị công nghệ phát triển trên cơ sở các hơi nước chân không và hút chân không tạo. Nó cũng được gọi là bốc hơi hồ quang chân không, sử dụng hồ quang chân không xả cho arc bốc hơi nguồn. Bởi vì đa arc ion mạ công nghệ có đặc điểm tỷ lệ cao lắng đọng, độ bám dính tốt sơn, lớp phủ dày đặc và hoạt động dễ dàng, nó đã được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực sửa đổi bề mặt của vật liệu.
Năm 1963, Mattox đề xuất và sử dụng ion mạ công nghệ lần đầu tiên; năm 1972, Bunshah et al đã phát triển công nghệ hoạt động phản ứng bay hơi (có); năm 1973, Mulayama et al. phát minh ra tần số vô tuyến kích thích ion mạ. Trong thập niên 1980, mạ ion đã trở thành một ngành công nghiệp công nghệ cao trên thế giới. Các sản phẩm chính gồm thiếc, TiAlN mòn lớp và TiN giả vàng lớp phủ trang trí trên tốc độ cao thép và khó hợp kim công cụ. Năm 1982, arc đa công ty của Hoa Kỳ đầu tiên ra mắt thiết bị thương mại đa arc ion mạ, và vào năm 1986, Trung Quốc bắt đầu sản xuất đa arc ion xi mạ thiết bị. Trong thập niên 1990, ion mạ công nghệ đã tiến bộ rất lớn. So với những năm 80, ion xi mạ thiết bị và công nghệ đã được cải thiện rất nhiều. Những năm gần đây, các loại khác nhau của các ion sơn máy thiết bị đã được sản xuất theo các yêu cầu sử dụng khác nhau, một số người trong số đó đã đạt đến mức độ sản xuất công nghiệp.
Nguyên lý làm việc mạ ion đa arc
Nguyên lý làm việc của đa arc ion mạ công nghệ chủ yếu dựa trên lý thuyết xả âm cực lạnh hồ quang chân không. Sau khi đánh lửa của các hồ quang chân không, một số discontinuities, điểm sáng và đa dạng của các kích cỡ và hình dạng khác nhau xuất hiện trên bề mặt của catốt tiêu. Họ nhanh chóng di chuyển không đều trên bề mặt của catốt, một số điểm được dập tắt và một số điểm được thành lập ở những nơi khác để duy trì arc đốt. Hiện nay mật tại chỗ để làm cực âm là lên đến 104 ~ 105A/cm2, và phát ra hơi kim loại tốc độ là 1000 m/s, một nguyên tử kim loại có thể bị sa thải cho mỗi electron 10 phát ra. Và sau đó các nguyên tử sau đó bị ion hóa thành cao năng lượng các ion tích cực. Tích cực ion được kết hợp với ion khác khi nó được vận hành trong một buồng chân không và lắng đọng trên bề mặt của phôi để tạo phim.
Lý thuyết xả hồ quang chân không tin rằng sự di chuyển của số lượng điện là chủ yếu là do lĩnh vực điện tử phát thải và tích cực ion dòng. Và các cơ chế hai tồn tại cùng thời điểm và hạn chế lẫn nhau. Trong quá trình xả, các vật liệu catốt bốc hơi với số lượng lớn. Tích cực ion được sản xuất bởi các nguyên tử vaporized sản xuất một phiên bản rất mạnh của điện trường trong một khoảng cách rất ngắn gần bề mặt của catốt.
Các tính năng kỹ thuật của đa arc ion mạ
Tính năng nổi bật của ion arc đa mạ quá trình là nó có thể sản xuất huyết tương tạo thành vật liệu bốc hơi bị ion hóa rất cao. Và bốc hơi, ion hóa và tăng tốc tất cả tập trung ở chỗ catốt và trong khu vực nhỏ xung quanh họ.
Tính năng:
(1 plasma) được sản xuất trực tiếp từ catốt.
(2) năng lượng hạt sự cố cao và mật độ phủ, tốt sức mạnh và độ bền.
(3) tỷ lệ ion hóa cao, và thường lên đến 60% - 80%
(4) tỷ lệ lắng đọng là nhanh chóng và mạ bất động sản là tốt.
(5) các thiết bị là tương đối đơn giản và nó là an toàn hơn để làm việc với một nguồn cung cấp điện áp thấp.
Kết quả nghiên cứu kỹ thuật
IKS đã tích cực phối hợp với công ty trong và ngoài nước và các viện nghiên cứu khoa học, và đã vui mừng những thành tựu trong một số ứng dụng thường được sử dụng lớp phủ. Quá trình sơn có thể sử dụng để tạo lớp phủ bộ phim với độ cứng cao, nhiệt độ ổn định và sự ổn định hóa học. Và khác nhau làm bay hơi vật lý lắng đọng lớp phủ, chẳng hạn như TiN, TiCN, AlTiN, AlTiSiN, CrN, DLC, vv.