Để tính chỉ số khúc xạ và hệ số tuyệt chủng của màng TiO 2 dựa trên phương pháp đường bao

Để tính toán chỉ số khúc xạ và hệ số tuyệt chủng của màng TiO 2 dựa trên phương pháp đường bao, hệ số hấp thụ của vật liệu không được quá lớn, nếu không sẽ ảnh hưởng đến độ truyền qua của sản phẩm phim và làm giảm hiệu suất quang học của sản phẩm; Đồng thời, chỉ số khúc xạ không được quá thấp, nếu không độ rộng của dải cắt sẽ bị ảnh hưởng. Được đề xuất bởi Manifacier trong 1976, phương pháp dòng baoluo là tính toán các tham số phim quang của lớp màng bằng cách đảo ngược giá trị cực trị (hoặc độ phản xạ) ở độ dày quang học của lớp màng thành bội số nguyên của lambda / { {3}}. Trong phép đo thực tế, điểm T / 2 tối đa và điểm truyền T / 4 tối thiểu được kết nối để tạo thành hai đường bao, Tmax () và Tmin (). Sau đó, cực trị truyền qua T / 2 và T / 4 ở bất kỳ bước sóng nào có được bằng cách lấy các điểm trên đường bao. Cuối cùng, hệ số tuyệt chủng và chỉ số khúc xạ của lớp màng được tính bằng cách sử dụng giá trị cực trị truyền qua, và độ dày của lớp màng được tính theo giá trị tính toán của chỉ số khúc xạ và bước sóng của điểm cực trị.

Quá trình đo của phương pháp rất đơn giản, phương pháp có thể đồng thời đo chỉ số khúc xạ của phim, hệ số tuyệt chủng và độ dày của quá trình đo không cần tiếp xúc với mẫu phim, bảo vệ mẫu, là một lý tưởng so sánh tất cả các loại phương pháp kết quả thử nghiệm thiết bị, nếu được sử dụng đúng cách, có thể là một cách để xác định phim tất cả các hằng số quang. Chỉ số khúc xạ tuyến tính n và độ dày L của màng ở bước sóng được tính bằng phương pháp đường bao.

Ở đâu:

0010010 nbsp; n0 và n 1 lần lượt là chiết suất của không khí và bazơ; Tmax và Tmin là độ truyền tối đa và tối thiểu ở bước sóng; Lambda 1, lambda 2 và n (lambda 1), n (lambda 2) tương ứng với bước sóng và chỉ số khúc xạ của hai đỉnh hoặc thung lũng liền kề của độ truyền qua đường cong, tương ứng. Chỉ số khúc xạ và hệ số tuyệt chủng của phim TiO 2 được tính bằng phần mềm Macleod. Như có thể thấy trong hình (a) bên dưới, phạm vi phổ là tia hồng ngoại và tia hồng ngoại gần, và chỉ số khúc xạ của tất cả các mẫu 4 đều giảm. Chỉ số khúc xạ của mẫu số 1 trong dải 400 ~ 1 000 nm nằm trong khoảng 2. {{15}} ~ {{4 }}. 15. Chỉ số khúc xạ của mẫu số 2 và mẫu số 3 cao hơn một chút, trong khi chỉ số của mẫu số 4 thấp hơn một chút ở cùng bước sóng, dao động từ {{4} }. 45 đến 2. 15. 0010010 nbsp;

Từ hình (b) ở trên, có thể thấy rằng mẫu số 1 có độ hấp thụ rõ ràng và hệ số tuyệt chủng tăng theo phạm vi phổ từ nhìn thấy tia UV đến nhìn thấy tia UV. Có thể biết rằng các oxit kim loại Ti giá thấp được sản xuất, do không cung cấp đủ oxy. Độ truyền qua tối đa của mẫu số 2 đã được cải thiện đáng kể và hệ số tuyệt chủng về cơ bản nằm dưới {{5}}. 5×10-3, vẫn có tác động đến độ truyền qua cuối cùng của phổ. Các hệ số tuyệt chủng của phổ của mẫu số 3 và mẫu số 4 theo thứ tự 10-4 và ảnh hưởng đến độ truyền qua của quang phổ về cơ bản là không đáng kể. Số 1 và số Các mẫu 1 và không. 2 với bước sóng tăng và tốc độ truyền giảm, hàm lượng oxy quá thấp, có kim loại Ti được hình thành và hệ số tuyệt chủng của Ti là bên phải là bước sóng tăng.

Qua so sánh bốn mẫu, người ta thấy rằng với sự gia tăng lưu lượng oxy, mức độ chân không của mạ giảm và độ khúc xạ của màng TiO 2 tăng trước rồi giảm. Thông qua việc tăng oxy sau khi các ion oxy của nguồn ion hóa, sẽ làm tăng màng bắn phá mật độ ion, tạo ra lớp màng dày đặc hơn, do đó cải thiện chỉ số khúc xạ của màng, khi lượng oxy lấp đầy tăng thêm, tuy nhiên, Hệ thống mạ chân không tương đối thấp, các phân tử oxy dư thừa và va chạm phân tử màng TiO 2 , làm giảm động năng phân tử màng TiO 2 , để tạo ra sự lắng đọng của di chuyển phân tử màng mỏng TiO 2 tốc độ giảm, mật độ của lớp màng, đã làm giảm thêm chỉ số khúc xạ của màng mỏng. Nếu ít oxy, cụ thể là hệ thống mạ chân không cao, cũng gây ra do lượng oxy ít hơn, có thể 0010010 # 39; t cung cấp Ti 2 O 3 là Dự kiến ​​sẽ phân hủy trong sự bay hơi mất hàm lượng oxy của oxy, nguyên nhân của thành phần màng mạ có oxit thấp chứa oxit titan, ảnh hưởng đến tính chất quang của màng mỏng, vì vậy việc lựa chọn oxy từ thông thích hợp cho màng mỏng quang học TiO 2 hệ thống mạ rất quan trọng.

Máy sơn chân không E-gun quang học IKS-OPT 2700 ，more details,contact: iks.pvd@foxmail.com