Loại hệ thống chân không
Sep 25, 2023| Loại hệ thống chân không
Một hệ thống được sử dụng để đáp ứng một yêu cầu quy trình nhất định và có thể thu được và đo mức độ chân không cần thiết cụ thể được gọi là hệ thống chân không.
Một hệ thống chân không hoàn chỉnh hơn bao gồm buồng chân không, bơm chân không hoặc thiết bị chân không cần thiết, thiết bị đo chân không, ống dẫn kết nối, van chân không, bẫy và các bộ phận chân không khác và hệ thống điều khiển điện. Hình 5-1 và 5-2 thể hiện một hệ thống chân không điển hình.
▲ Hình 5-1 Nguyên lý điển hình của hệ thống chân không Hình 1: 1- Van thông hơi buồng chân không 2- máy đo chân không ion hóa 3- máy đo chân không cặp nhiệt điện 4- van điều khiển lưu lượng {{6 }} Van chân không cao 6- bơm khuếch tán 7- Bình chứa khí 8- Đồng hồ đo cặp nhiệt điện (đo áp suất phía trước bơm khuếch tán) 9- van chân không phía trước 10- cảm biến áp suất {{ 12}} van hút trước 12- Thân bơm chân không 13- van bypass 14- van thông hơi điện từ 15- Bơm chân không cơ học
Hình 5-2 Sơ đồ hệ thống chân không điển hình 2:1 - Buồng chân không 2- máy đo chân không ion hóa 3- Máy đo chân không cặp nhiệt điện 4- van xả 5- chân không cao van 6- bẫy lạnh 7- bơm khuếch tán 8- van chân không phía trước 9- van xả điện từ 10- bơm chân không cơ học 11- van xả trước
Công ty IKS PVD, máy phủ trang trí, máy phủ dụng cụ, máy phủ DLC, máy phủ quang học, dây chuyền sơn chân không PVD, dự án chìa khóa trao tay đều có sẵn. Hãy liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, E-mail: iks.pvd@foxmail.com