Bộ bơm chân không siêu cao

Bộ bơm chân không siêu cao
Bộ chân không siêu cao hoạt động trong phạm vi áp suất chân không cực cao 10-6 ~ 10-10Pa, ngoài ra yêu cầu vật liệu của buồng chân không phải có tốc độ thoát khí rất thấp, a tốc độ rò rỉ khí rất nhỏ và có thể chịu được nhiệt độ nướng cao 200 ~ 450 độ, các yêu cầu đối với thiết bị cũng bao gồm:
(1) độ chân không tối đa của máy bơm chính phải cao, ít nhất là 10-7 ~ 10-8Pa ở trên;
(2) Máy bơm chính có tốc độ bơm nhất định trong phạm vi áp suất làm việc của chân không siêu cao;
(3) Máy bơm chính của thiết bị hoặc bộ phận phía trên cửa hút khí của máy bơm chính có thể chịu được nhiệt độ nướng cao 200 ~ 450 độ;
(4) Áp suất riêng phần của khí chảy ngược (bao gồm hơi lỏng làm việc và khí phân giải) đến bơm tự động phải đủ thấp;
(5) Máy bơm chính có tính chọn lọc khí bơm mạnh phải được trang bị máy bơm phụ đủ lớn;
(6) Đường ống, van và các bộ phận khác phía trên cổng nạp của máy bơm chính của thiết bị, việc lựa chọn và bịt kín vật liệu phải đặc biệt cẩn thận. Thông thường, thép không gỉ có tốc độ thoát khí thấp và cấu trúc bịt kín bằng kim loại và vật liệu bịt kín được sử dụng.

Công ty IKS PVD, máy phủ trang trí, máy phủ dụng cụ, máy phủ DLC, máy phủ quang học, dây chuyền sơn chân không PVD, dự án chìa khóa trao tay đều có sẵn. Hãy liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, E-mail: iks.pvd@foxmail.com