Vấn đề đồng nhất của phim phún xạ Magnetron

Độ đồng bộ của màng phún xạ magnetron là một chỉ số quan trọng, vì vậy cần nghiên cứu các yếu tố ảnh hưởng ảnh hưởng đến tính đồng nhất của phún xạ magnetron để đạt được độ phủ đồng nhất tốt hơn. Nói một cách đơn giản, phún xạ magnetron đề cập đến các electron tạo ra một chuyển động xoắn ốc xung quanh bề mặt mục tiêu dưới sự ràng buộc của từ trường khép kín trong một trường điện từ trực giao. Trong quá trình chuyển động, các electron giữ cho khí làm việc nổi bật (khí argon) để ion hóa một lượng lớn các ion argon. Dưới điện trường, các ion argon nhanh chóng bắn phá mục tiêu, và các ion nguyên tử (hoặc các phân tử) mục tiêu đặt trên bề mặt để tạo thành một màng mỏng.

Do đó, để đạt được một lớp phủ đồng nhất, cần phải đồng bộ phún xạ các ion nguyên tử (hoặc các phân tử) đích, đòi hỏi các ion argon phải phá hủy mục tiêu một cách đồng đều. Vì các ion argon đẩy nhanh việc bắn phá mục tiêu dưới tác động của điện trường, nên điện trường phải được thống nhất. Các ion argon bắt nguồn từ các electron bị ràng buộc bởi từ trường khép kín, và các electron liên tục xảy ra trong quá trình chuyển động, đòi hỏi sự phân bố đồng đều của từ trường và đồng đều. Tuy nhiên, trong các thiết bị phún xạ magnetron thực tế, những yếu tố này khó có thể đồng bộ hoàn toàn, và cần nghiên cứu ảnh hưởng của sự không đồng đều của chúng lên tính đồng nhất hình thành màng. Trong thực tế, tính đồng nhất của từ trường và tính đồng nhất của khí làm việc là những yếu tố quan trọng nhất ảnh hưởng đến tính đồng nhất của sự hình thành màng. Từ trường lớn có nghĩa là độ dày màng lớn, và hướng của từ trường cũng là một yếu tố quan trọng ảnh hưởng đến tính đồng nhất. Xét về áp suất không khí, dưới áp suất nhất định, bộ phim có áp suất không khí lớn có độ dày lớn.