Video giải mã nguyên lý làm việc của bơm phân tử
Aug 06, 2019| Video giải mã nguyên lý làm việc của bơm phân tử
https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html
Bơm phân tử hoạt động như thế nào?
nguyên tắc làm việc:
Cơ chế bơm của bơm phân tử khác với bơm cơ học, phụ thuộc vào sự thay đổi thể tích buồng bơm để hút khí.
Bơm phân tử được điều khiển bởi động cơ để quay với tốc độ cao. Trong vùng dòng phân tử, các phân tử khí va chạm với bề mặt lưỡi tốc độ cao và động lượng được truyền đến các phân tử khí, do đó một số phân tử khí di chuyển theo hướng của bề mặt cơ thể cứng nhắc và bị đẩy ra khỏi bơm , để đạt được mục đích khai thác không khí. Thông thường với sự chuyển động tốc độ cao của bề mặt cơ thể cứng nhắc để mang các phân tử khí và làm cho nó di chuyển theo một hướng nhất định của hiện tượng gọi là hiện tượng lực kéo phân tử, sử dụng hiện tượng này làm từ bơm chân không được gọi là bơm phân tử lực kéo (bơm gad). Ưu điểm của bơm phân tử lực kéo là thời gian bắt đầu ngắn, ở trạng thái dòng phân tử có tỷ số nén cao, có thể loại bỏ tất cả các loại khí và hơi, đặc biệt thích hợp cho việc chiết khí nặng hơn. Tuy nhiên, do tốc độ bơm bơm phân tử lực kéo nhỏ, khoảng cách con dấu quá nhỏ, độ tin cậy công việc kém, dễ bị hỏng cơ và thực tế, hiếm khi sử dụng. Sau đó, bơm phân tử lực kéo được cải thiện và bơm phân tử turbo xuất hiện.
Bơm phân tử turbo chứa nhiều nhóm cánh quạt xen kẽ và cánh quạt cố định, và có nhiều lưỡi xiên ở một góc nhất định trên mỗi lưỡi dao, như thể hiện trong hình. 1. Bơm phân tử turbo thực tế bao gồm một tầng nhiều tầng, cụ thể là lưỡi dao kích hoạt, lưỡi cố định và lưỡi dao di chuyển được bố trí xen kẽ. Cánh quạt chuyển động hoạt động giống như cánh quạt điện khi chúng quay, bơm khí từ bên này sang bên kia. Tăng tốc độ của bơm phân tử có lợi trong việc cải thiện tốc độ bơm của bơm phân tử. Do giới hạn tốc độ của lưỡi dao, nếu các phân tử khí di chuyển nhanh hơn, việc bơm chân không sẽ khó khăn hơn.
Có thể thấy rằng bơm phân tử turbo cũng là một loại bơm chân không cơ học. Sự kết hợp giữa cánh quạt tua bin đa tầng quay tốc độ cao và lưỡi tĩnh được sử dụng để chiết khí, tạo ra tỷ số nén cao cho khí được chiết xuất trong khu vực dòng phân tử, để đạt được hiệu suất chân không cần thiết. Độ chân không cuối cùng của bơm phân tử cao hơn bơm khuếch tán, lên tới 10 ^ -8pa. Trong hoạt động bình thường, độ chân không nhất định của giai đoạn trước là bắt buộc, thay đổi một chút tùy thuộc vào máy bơm, thường dao động từ 1 đến 200Pa. Bơm cơ có thể được sử dụng như bơm giai đoạn trước. Các đơn vị chân không cao bao gồm bơm phân tử và bơm cơ học. Do tốc độ cao của bơm phân tử turbo, nó thường được điều khiển bởi động cơ và tần số cung cấp điện trong khoảng từ 300-400hz. Bơm Turbomolecular thường được làm mát bằng nước.
Bơm phân tử hỗn hợp là sự kết hợp hàng loạt của bơm phân tử turbo và bơm phân tử lực kéo, kết hợp các ưu điểm của hai loại bơm thành một, và có thể ở trong phạm vi áp suất rộng 10 ^ -6-1pa, với tốc độ bơm lớn hơn và tỷ lệ nén cao hơn, giúp cải thiện đáng kể áp suất đầu ra của bơm.
điều kiện hoạt động :
(1) tốc độ cánh quạt đạt 20000r / phút, do đó thời gian bắt đầu bơm phân tử tương đối dài.
(2) khí ở trạng thái dòng phân tử, vì vậy nó cần được trang bị bơm giai đoạn trước. Nói chung, bơm cánh gạt quay được sử dụng làm bơm giai đoạn trước
Tính năng bơm phân tử:
Bơm phân tử bôi trơn dầu: lượng dầu bôi trơn nhỏ, và trong phần chân không của giai đoạn trước , ô nhiễm của buồng chân không là nhỏ.
Bơm phân tử bôi trơn dầu mỡ: lượng dầu mỡ rất nhỏ, bơm khô giai đoạn trước có thể có được một chân không sạch gần như không có dầu.
Bơm phân tử treo hoàn toàn từ tính: không cần bôi trơn, có thể sử dụng với bơm khô, môi trường chân không sạch mà không cần dầu.
Các ứng dụng phổ biến khác:
1. Phân tích (khối phổ, kính hiển vi điện tử, v.v.)
2. Chất bán dẫn (linh kiện điện tử, mạch tích hợp, pin mặt trời linh hoạt, v.v.)
3. Quang / kính (bảo vệ nhiệt, chống phản xạ, phản xạ, lọc quang)
4. Lớp phủ (bảo vệ bề mặt, sơn trang trí, màn hình, màn hình)
5. Luyện kim chân không (lò chân không, hàn chân không, thiêu kết chân không, hợp kim chân không,)
6. Phát hiện rò rỉ (hệ thống chân không, bình xăng xe, túi khí)
7. Thí nghiệm nghiên cứu (chụp cộng hưởng từ y tế, vật lý hạt nhân, nghiên cứu tổng hợp, ứng dụng laser và nhiều hơn nữa)
8. Công nghiệp sản xuất đèn và các ngành liên quan
IKS PVD, máy phủ sử dụng bơm phân tử turbo từ trường. liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, để biết thêm chi tiết về máy phủ chân không PVD, iks.pvd @ foxmail.com
