Quy trình cụ thể của việc xây dựng các độ chói trong magnetron phún xạ nguyên tắc như thế nào là AR khí ion hóa

Quá trình cụ thể của việc xây dựng của độ chói trong nguyên tắc magnetron phún xạ là gì? AR khí ion hóa như thế nào?

Dưới tác động của một điện áp ứng dụng giữa các cực dương và âm, các nguyên tử khí giữa điện cực sẽ được ion hóa. Trong quá trình ion hóa, một số nguyên tử AR được ion hóa thành các ion và electron AR +. Các electron được đẩy nhanh về phía cực dương bằng điện trường, và các ion AR + sạc tích điện tăng tốc hướng tới mục tiêu cathode dưới tác động của trường, và giải phóng năng lượng tương ứng trong va chạm với bề mặt mục tiêu. Một trong những kết quả của tác động của các ion với năng lượng nhất định trên mục tiêu là các nguyên tử trên bề mặt mục tiêu đạt được một số năng lượng và để lại bề mặt mục tiêu để di chuyển về phía nền. Trong quá trình phún xạ, có những hạt vi lượng khác, bao gồm cả phát xạ electron thứ phát từ cathode.
Đây là một xả khí, và điện áp thường là ở các kilovolt trên. Nhưng magnetron phún xạ là khác nhau,
Trong khi magnetron phún xạ, có một từ trường trên bề mặt của mục tiêu, do đó, các electron có thể bị ràng buộc xung quanh mục tiêu mà không bị mất, tạo thành một hiện tượng xả tự duy trì, và điện áp tự nhiên giảm xuống vài trăm volt. Trong quá trình xả tự duy trì, hầu hết các ion hóa Argon được gây ra bởi việc bắn phá các electron tự do.

e-+ AR → AR + + 2E-

Nếu bạn là thú vị loại lớp phủ bảo vệ môi trường, liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, E-mail:iks.pvd@foxmail.com,Thêm chi tiết về sản xuất máy hút chân không PVD-Công ty TNHH IKS PVD Technology (Shenyang)