Đồng hồ đo chân không tương thích và bộ điều khiển CDG025D 0.1 ~ 1000 Torr / mbar
GIỚI THIỆU Dòng máy đo màng điện dung INFICON SKY CDG025D của áp kế bù nhiệt độ chính xác cao được thiết kế cho hiệu suất ổn định trong môi trường công cụ sản xuất khắc nghiệt. Thiết bị điện tử kỹ thuật số tiên tiến cải thiện hiệu suất đo và cung cấp các tính năng xử lý dễ dàng như ...
- Giơi thiệu sản phẩm
GIỚI THIỆU
Dòng sản phẩm màng điện dung INFICON SKY CDG025D có dải đo áp suất nhiệt độ chính xác cao được thiết kế cho hiệu năng ổn định trong môi trường công cụ sản xuất khắc nghiệt. Thiết bị điện tử kỹ thuật số tiên tiến cải thiện hiệu suất của máy đo và cung cấp các tính năng xử lý dễ dàng như một chức năng không có nút bấm và điều chỉnh điểm đặt. Cảm biến gốm chống ăn mòn cung cấp độ ổn định tuyệt vời bằng không với tuổi thọ dài của vài triệu chu kỳ áp suất, bao gồm các vụ nổ khí quyển. Che chắn cảm biến độc đáo (bằng sáng chế đang chờ xử lý) bảo vệ máy đo khỏi quá trình nhiễm bẩn. Một thiết kế cơ khí mạnh mẽ và thiết bị điện tử kỹ thuật số cải thiện khả năng tương thích EMC, ổn định lâu dài và bù nhiệt độ. CDG025D đặt ra các tiêu chuẩn mới cho sự ổn định nhanh sau khi bật nguồn và phục hồi nhanh chóng do tiếp xúc với áp suất khí quyển.
Thiết bị phân tích điện dung INFICON SKY CDG025D là thiết bị thay thế trực tiếp cho máy phát CTR Oerlikon Leybold CTR 100. Nhận bản gốc từ trình manufacterer với sự hỗ trợ và giải pháp toàn cầu cho tất cả các ứng dụng.
LỢI ÍCH
◆ Hoàn toàn tương thích với các máy phát CTR 100
◆ Phạm vi toàn dải từ 100 mTorr… 1000 Torr
◆ Tính ổn định nhanh sau khi bật nguồn
◆ Phục hồi nhanh từ áp suất khí quyển
◆ Cảm biến gốm chống ăn mòn
◆ Độ ổn định tín hiệu lâu dài tuyệt vời
◆ bù nhiệt độ
◆ Cảm biến bảo vệ khỏi bị ô nhiễm
◆ Một chức năng không có nút bấm
◆ cung cấp điện phạm vi rộng
CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU
◆ Thiết bị sản xuất bán dẫn cho Etch, CVD, PVD, ALD
◆ Thiết bị sản xuất và lưu trữ dữ liệu
◆ Thiết bị chân không công nghiệp
◆ đo áp suất chính xác cao chung
ĐẶC ĐIỂM KỸ THUẬT
| Kiểu | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0,25 Torr | 0,1 Torr / mbar | |
| Độ chính xác | % đang đọc | 0,2 | 0,2 | 0,2 | 0,25 | 0,5 |
| Hiệu ứng nhiệt độ | ||||||
| trên không | phần trăm FS / ° C | 0,005 | 0,005 | 0,015 | 0,02 | 0,02 |
| trên span | % đọc / ° C | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,03 | 0,03 |
| Độ phân giải | phần trăm FS | 0,003 | 0,003 | 0,003 | 0,003 | 0,003 |
| Áp lực, tối đa | kPa (tuyệt đối) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
Thời gian đáp ứng | Cô | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 |
| Đọc thấp nhất | phần trăm FS | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 |
| Đọc thấp nhất được đề xuất | phần trăm FS | 0,05 | 0,05 | 0,05 | 0,05 | 0,05 |
| Áp suất điều khiển được đề xuất thấp nhất | phần trăm FS | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
| Nhiệt độ | ||||||
Hoạt động (môi trường xung quanh) | ° C | +5… +50 | +5… +50 | +5… +50 | +5… +50 | +5… +50 |
| Bakeout tại mặt bích | ° C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| Lưu trữ | ° C | –40… +65 | –40… +65 | –40… +65 | –40… +65 | –40… +65 |
| Cung câp hiệu điện thê | V (dc) | +14… +30 | +14… +30 | +14… +30 | +14… +30 | +14… +30 |
Quyền lực tiêu thụ | W | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
Tín hiệu đầu ra (analog) | V (dc) | 0… +10 | 0… +10 | 0… +10 | 0… +10 | 0… +10 |
Mức độ sự bảo vệ | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | |
| Tiêu chuẩn | ||||||
| CE phù hợp | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| Chứng nhận ETL | UL 61010‑1, CSA 22.2 Không. 61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 Không. 61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 Không. 61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 Không. 61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 Không. 61010‑1 | |
Điện kết nối | D-sub, 15 cực, nam | D-sub, 15 cực, nam | D-sub, 15 cực, nam | D-sub, 15 cực, nam | D-sub, 15 cực, nam | |
| Vật liệu tiếp xúc với chân không | Nhôm gốm oxit (AI2O3), Vacon 70, thép không gỉ (AISI 316L), AgCuTi khó hàn, niêm phong thủy tinh | Nhôm gốm oxit (AI2O3), Vacon 70, thép không gỉ (AISI 316L), AgCuTi khó hàn, niêm phong thủy tinh | Nhôm gốm oxit (AI2O3), Vacon 70, thép không gỉ (AISI 316L), AgCuTi khó hàn, niêm phong thủy tinh | Nhôm gốm oxit (AI2O3), Vacon 70, thép không gỉ (AISI 316L), AgCuTi khó hàn, niêm phong thủy tinh | Nhôm gốm oxit (AI2O3), Vacon 70, thép không gỉ (AISI 316L), AgCuTi khó hàn, niêm phong thủy tinh | |
| Khối lượng nội bộ | ||||||
| 1/2 '' ống | cm³ (in.³) | 3,6 (0,22) | ||||
| DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 3,6 (0,22) | ||||
| DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 3,6 (0,22) | ||||
| 8 VCR® | cm³ (in.³) | 3,6 (0,22) | ||||
Chú phổ biến: Đồng hồ đo chân không tương thích và bộ điều khiển CDG025D 0.1 ~ 1000 Torr / mbar, Trung Quốc, nhà sản xuất, nhà cung cấp, mua, tùy chỉnh, sản xuất tại Trung Quốc
