Hệ thống chân không cao

Hệ thống chân không cao
Hệ thống chân không cao được sử dụng rộng rãi và phạm vi áp suất làm việc của nó thường là 1,33×10-2 ~ 1,33×10-3Pa. Hệ thống bơm phổ biến là:
(1) Hệ thống chân không bơm cơ khí dòng bơm khuếch tán. Như được hiển thị trong Hình 5-2, hệ thống này có thể đạt được độ chân không 10-2 ~ 10-5Pa, thường được sử dụng trong các thiết bị ứng dụng có lượng khí thải tương đối nhỏ trong quá trình vận hành. Hệ thống này có ưu điểm là cấu trúc đơn giản, vận hành đáng tin cậy và chi phí thấp. Nhược điểm là hệ thống khởi động chậm và thời gian vẽ trước kéo dài. Hơi dầu của bơm khuếch tán dễ chảy ngược vào buồng chân không.
(2) bơm tăng áp dầu loạt bơm khuếch tán, và sau đó là hệ thống chân không bơm cơ khí nối tiếp. Hệ thống có thời gian rút tiền ngắn nhưng khởi đầu chậm.
(3) loạt bơm khuếch tán Roots bơm, và sau đó là hệ thống chân không bơm cơ khí nối tiếp. Khởi động chậm nhưng thời gian bơm trước ngắn.

Công ty IKS PVD, máy phủ trang trí, máy phủ dụng cụ, máy phủ DLC, máy phủ quang học, dây chuyền sơn chân không PVD, dự án chìa khóa trao tay đều có sẵn. Hãy liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, E-mail: iks.pvd@foxmail.com