Hệ thống chân không siêu cao

Hệ thống chân không siêu cao

Một loạt máy bơm khuếch tán hệ thống bẫy lạnh loạt cơ khí
Hình 5-13 cho thấy hệ thống chân không, loạt bơm khuếch tán hai bẫy lạnh nitơ lỏng, buồng chân không và bẫy lạnh 6 có thể chịu được nhiệt độ nướng 400 ~ 450 độ. Ở nhiệt độ này, khí hấp phụ trên thành buồng chân không và thành bẫy lạnh, dầu bơm ngưng tụ có thể được loại bỏ. Nhìn chung, hệ thống có thể đạt được độ chân không giới hạn là 1,33×10-7Pa.

▲ Hình 5-13 Hệ thống chân không cực cao của bơm khuếch tán dầu: 1- Buồng chân không 2- Đồng hồ đo chân không cặp nhiệt điện 3-Đồng hồ đo chân không BA 4- Van xả {{7} } Van chân không siêu cao 6,7- bẫy lạnh 8- máy đo chân không ion hóa 9- Bơm khuếch tán 10- van ống phía trước 11- bẫy phía trước 12- Van điện từ 13- Bơm cơ khí 14- van ống chân không siêu cao 15- thiết bị nướng

Công ty IKS PVD, máy phủ trang trí, máy phủ dụng cụ, máy phủ DLC, máy phủ quang học, dây chuyền sơn chân không PVD, dự án chìa khóa trao tay đều có sẵn. Hãy liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, E-mail: iks.pvd@foxmail.com