Bình khí
Oct 12, 2023| Bình khí
Nhóm bơm chân không cao bơm khuếch tán nhỏ thường được cấu hình với bình chứa khí, được bố trí giữa bơm khuếch tán và bơm phía trước để lưu trữ khí do bơm khuếch tán thải ra. Những lý do phải đặt bình xăng là:
1) Sự cần thiết phải bảo vệ chống sốc của hệ thống
Khi hệ thống chân không hoạt động, một số quy trình yêu cầu khả năng chống sốc nghiêm ngặt, do đó, bơm chân không cơ học trước đây cần ngừng hoạt động trong một khoảng thời gian khi buồng chân không đang hoạt động. Trong thời gian này, toàn bộ khí do bơm khuếch tán thải ra đều được lưu trữ trong bình chứa khí, bình chứa khí được sử dụng để thay thế bơm cơ học nhằm duy trì hoạt động bình thường của bơm khuếch tán.
2) Để rút ngắn chu kỳ làm việc
Một số quy trình sản xuất yêu cầu buồng chân không được đưa vào khí quyển để đổi lấy các bộ phận và sạc mà không cần đóng bộ gia nhiệt bơm khuếch tán. Bơm phía trước của thiết bị chân không được sử dụng làm bơm trước. Sau khi nạp, buồng chân không được bơm trước bằng bơm cơ học, bình xăng được sử dụng trong thời gian này để bảo dưỡng bơm khuếch tán (như bơm phía trước).
3) Để ngăn chặn một lượng lớn khí thải tức thời trong buồng chân không ảnh hưởng đến hoạt động bình thường của bơm khuếch tán
Trong quá trình sản xuất chân không, lượng khí thải đặc biệt lớn trong một khoảng thời gian nhất định, nhưng thời gian lại ngắn. Nếu việc cấu hình máy bơm cơ học theo thể tích khí thải tối đa tại thời điểm này là không kinh tế, bể chứa trước giai đoạn có thể được cấu hình trong hệ thống vào thời điểm này để lưu trữ một phần khí ở thể tích khí thải tối đa nhằm tránh hiện tượng áp suất trước giai đoạn của bơm khuếch tán vượt quá áp suất ngược tối đa.
4) Được sử dụng để ổn định áp suất đầu ra của bơm khuếch tán
Do khí thải của bơm chân không cơ học được tạo xung, mặc dù tần số không cao (thường khoảng 7 lần/s), nhưng nó cũng sẽ gây ra sự dao động về áp suất đầu ra của bơm khuếch tán và việc cài đặt bình xăng có thể làm giảm điều đó. biến động.
Công ty IKS PVD, máy phủ trang trí, máy phủ dụng cụ, máy phủ DLC, máy phủ quang học, dây chuyền sơn chân không PVD, dự án chìa khóa trao tay đều có sẵn. Hãy liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, E-mail: iks.pvd@foxmail.com