Hệ thống chân không của bơm turbo phân tử nối tiếp bơm cơ khí
Oct 27, 2023| Hệ thống chân không của bơm turbo phân tử nối tiếp bơm cơ khí
Hình 5-14 hiển thị hệ thống. Hệ thống này có thể đạt được chân không 10-6Pa mà không cần nướng và độ chân không sau khi nướng có thể đạt tới 10-8Pa. Đặc điểm của hệ thống là tương đối sạch và có thể tạo thành hệ thống chân không cực cao không dầu.
Hình 5-14 Hệ thống chân không siêu cao bơm tua bin phân tử: 1- buồng chân không 2- Đồng hồ đo chân không cặp nhiệt điện 3-Đồng hồ đo chân không BA 4- Van chân không siêu cao {{8 }} Bơm turbo phân tử 6- bơm phía trước 7- Van điện từ 8- bơm cơ khí
Công ty IKS PVD, máy phủ trang trí, máy phủ dụng cụ, máy phủ DLC, máy phủ quang học, dây chuyền sơn chân không PVD, dự án chìa khóa trao tay đều có sẵn. Hãy liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, E-mail: iks.pvd@foxmail.com