Giới thiệu về các phương pháp hoạt động của máy hút chân không
Mar 03, 2018| Máy hút chân không là một công cụ sơn cần phải hoạt động ở một chân không cao. Nó được chia thành hai loại bốc hơi và tạo.
Bay hơi sơn quá trình nói chung là hệ thống sưởi nhắm mục tiêu các tài liệu, mà gây ra các thành phần bề mặt của vật liệu mục tiêu được cận của nguyên tử hay ion hình thành, và lắng đọng trên bề mặt của chất nền, tạo thành màng mỏng qua quá trình của bộ phim hình thành.
Thổi sơn có thể được hiểu đơn giản như việc sử dụng điện tử hoặc laser năng lượng cao để bắn phá các mục tiêu và làm cho các thành phần bề mặt của các mục tiêu tạo trong hình thức của nguyên tử hoặc các ion, và cuối cùng lắng đọng trên bề mặt của chất nền, hình thành màng mỏng thông qua quá trình hình thành phim.
Sử dụng các bước sau:
1. phương pháp hoạt động của máy điều khiển nội chân không tráng phủ
(1) mở nguồn bơm và máy nước.
(2) bật nguồn chính.
(3) mở cung cấp điện của các máy bơm đang nắm giữ và đo chân không, chân không khổ trí vị trí V1, chờ đợi cho giá trị của nó ít hơn 10, và sau đó nhập vào các hoạt động tiếp theo. Có lẽ cần năm phút.
(4) bật bơm cơ khí, thực hiện trước khi bơm, mở cung cấp năng lượng máy bơm phân tử turbo và bắt đầu bơm phân tử. Công tắc chân không đo được thay đổi vị trí V2. Sau khi mức độ hút chân không bơm lên ít hơn 2, dừng bơm, và nó sẽ mất 20 phút.
(5) khi các bài đọc của máy bơm phân tử tuabin được áp dụng để đạt được 250, pre bơm được đóng lại, sau đó mở máy bơm ủng hộ và cao Van chân không tiếp tục di tản. Chỉ sau khi chân không đạt 2 × 10-3, cung cấp năng lượng của súng điện tử có thể được bật.
2. hoạt động của máy hút chân không
(1) chuyển về quyền lực chính.
(2) cùng một lúc mở kiểm soát súng điện tử I và II cấp điện: theo kiểm soát súng điện tử tôi điện, chuyển đổi chậm trễ, và sau đó là ánh sáng của sự chậm trễ, điện bảo vệ và đèn ánh sáng, ánh sáng lên. Sau khi ba phút ánh sáng chậm trễ và bảo vệ đèn tắt. Nếu cánh cửa trở lại không được đóng cửa hoặc relay dòng chảy là bị lỗi, ánh sáng bảo vệ sẽ luôn luôn trên.
(3) mở áp lực cao, chịu áp lực cao sẽ đạt được nhiều hơn 10KV, điều chỉnh các chùm tia để về 200mA, lưới lá chắn là 20V / 100mA, filament hiện tại 1.2A, lệch hiện tại swing 1 ~ 1.7.
3. tắt máy tự của máy hút chân không
(1) tắt máy bơm phân tử và đo trang phục.
(2) khi các máy bơm phân tử cho thấy lên đến 50, cao Van chân không, sao máy bơm và cơ khí máy bơm được đóng lại theo thứ tự. Có lẽ cần 40 phút.
(3) khi các máy bơm phân tử cho thấy ít hơn 50, đóng máy bơm đang nắm giữ.