Hiệu suất và lợi thế của một máy bơm phân tử tuabin

Máy bơm phân tử turbo việc sử dụng là cao tốc quay của cánh quạt chuyển động để vượt qua đà cho các phân tử khí, khí tạo ra định hướng dòng chảy của cácMáy bơm chân không. Phân tử turbo bơm chủ yếu là các thành phần của các cơ quan bơm, cánh quạt với lưỡi (tức là chuyển động cánh), tĩnh cánh và ổ đĩa hệ thống.

Lợi thế

Như bơm phân tử turbo trong một số khía cạnh, nó tốt hơn so với các máy bơm trong, ion bơm và khuếch tán máy bơm hiệu suất vượt trội. Vì vậy, trong trường hợp tổng quát, hơn nữa sử dụng turbo bơm.

Trào ngược hơi nước sạch, dầu-Việt (1)

Máy bơm phân tử turbo có thể hoạt động mà không có bất kỳ tốt và hoạt động theo các quy tắc hoạt động, mà có thể cung cấp một môi trường chân không sạch để bơm container và không chứa bất kỳ hydrocarbon.

(2) thuận tiện để sử dụng

Trong nhiều ứng dụng, turbo máy bơm có thể đòi hỏi cao Van chân không hoặc thô Van chân không. Chỉ cần nhấn nút, các máy bơm có thể bắt đầu làm việc, từ áp suất khí quyển có thể được giảm để áp lực cuối cùng. Hệ thống có thể được thô bơm của máy bơm phân tử turbo và có thể được tăng tốc lên đến tốc độ hoạt động. Điều này giúp loại bỏ sự cần thiết cho van, ống, bẫy, Van điều khiển và các thành phần khác của chân không. Nó cũng giúp loại bỏ sự thất bại của các thành phần này.

(3) khả năng vận chuyển khí đốt mạnh

Hầu hết các máy bơm phân tử turbo có khả năng mạnh mẽ để cung cấp các loại khí nhẹ như hidro và heli, làm cho chúng lý tưởng cho quá trình hoạt động dưới máy hút cực cao. Một máy bơm phân tử turbo thiết kế đặc biệt để loại bỏ ăn mòn khí là phù hợp cho khắc, ion phản ứng khắc, Máy gia công tia ion, áp suất thấp hơi hóa chất lắng đọng, quá trình cấy epitaxy và ion. Trong quá trình, sơ tán khí có thể ăn mòn trong máy bơm, máy bơm ion, khuếch tán máy bơm dầu, và thậm chí phá hủy các máy bơm phân tử turbo tiêu chuẩn không được bảo vệ. Như bơm phân tử turbo thuộc về các máy bơm truyền, bơm khí sẽ không được tích lũy trong các máy bơm, vì vậy nó là thích hợp cho quá trình nạp khí cao.

(4) phù hợp cho các ứng dụng chân không cực cao

Một máy bơm phân tử turbo tốt cho niêm phong và degassing được trang bị với hai giai đoạn bơm quay với hiệu suất tốt (hoặc cùng một hiệu suất khô trước khi bơm). Chân không cuối cùng có thể đạt được 10^-9-10^-10Torr (133.3 để 13.33 nPa). Nếu một máy bơm phân tử turbo được kết nối với một máy bơm phân tử turbo sử dụng một máy bơm kim loại kín và đầy đủ degassed, áp lực cuối cùng của nó thường là 1 × 10^-101 × 10^-11Torr (13.33 để 1.333 nPa) giữa. Và không giống như trong máy bơm hoặc ion máy bơm, máy bơm phân tử turbo hoạt động ở tốc độ bơm đầy đủ các điều kiện cực cao hút chân không.

(5) hiệu suất tốt dưới áp lực cao

Áp suất khí vào một số máy bơm phân tử turbo có thể chạy giữa 10^-1và 10^-3Torr (13.33 Pa để 133.3 mPa). Trong phạm vi áp lực, máy bơm ion không thể được sử dụng, cần trong máy bơm ga tốc độ bơm hoặc thường xuyên tái sinh, và công việc của các máy bơm khuếch tán sẽ trở nên không ổn định.

(6) thời gian chu kỳ ngắn

Hầu hết các phân tử turbo bơm, đặc biệt là nhỏ nhất, thường cần 1 ~ 3 phút để đạt được tốc độ chạy bình thường. Máy bơm cho các loại khác nhau và các mô hình khác nhau và có thể được tắt ngay lập tức và có thể được tiếp xúc với không khí.

(7) bình thường sử dụng trong thời gian dài

Trong một số ứng dụng, thời gian sử dụng bình thường của máy bơm phân tử turbo là vượt trội so với các máy bơm khác. Vì hạng nặng khí nạp và van rò rỉ, sẽ gây ra trong máy bơm thường biến khoảng thời gian tái tạo hoặc ion bơm thường sửa chữa, và bơm phân tử turbo cũng có thể được sử dụng để loại bỏ các ô nhiễm dầu bơm buồng chân không.