Lắng đọng làm bay hơi vật lý là gì?
Dec 13, 2017| Làm bay hơi vật lý lắng đọng (PVD) miêu tả một loạt các phương pháp làm bay hơi chân không có thể được sử dụng để sản xuất bộ phim mỏng và lớp phủ. PVD được đặc trưng bởi một quá trình mà trong đó các tài liệu đi từ một giai đoạn đặc pha hơi và sau đó trở lại một giai đoạn đặc màng mỏng. Các quá trình PVD phổ biến nhất là tạo và bốc hơi. PVD được sử dụng trong sản xuất các mục yêu cầu phim mỏng cho các chức năng cơ học, quang học, hóa học hoặc điện tử. Ví dụ bao gồm các thiết bị bán dẫn như tấm pin mặt trời màng mỏng, aluminized PET phim cho bao bì thực phẩm và bong bóng, và tráng dụng cụ cắt cho gia công kim loại. Bên cạnh đó PVD các công cụ cho sản xuất, đặc biệt công cụ nhỏ (chủ yếu cho các mục đích khoa học) đã được phát triển.
Sơn công nghiệp thông thường được áp dụng bởi PVD là nitrua Titan, zirconi nitrua, crom nitrua, Nitrua nhôm titan.
Nguồn nguyên liệu là unavoidably cũng lắng đọng trên hầu hết bề mặt nội thất đến buồng chân không, bao gồm cả fixturing được sử dụng để giữ các bộ phận.
Ví dụ
● Cathodic Arc lắng đọng: Trong đó một cung điện sứ thải tại mục tiêu (nguồn) vật liệu nổ đi một số thành cao ion hóa hơi để được gửi lên các phôi.
● Lắng đọng làm bay hơi vật lý tia điện tử: trong đó các tài liệu để được lắng đọng được đun nóng đến một áp suất hơi cao bằng điện tử bắn phá trong chân không "cao" và được vận chuyển bằng cách phổ biến để được gửi bởi sự ngưng tụ trên mảnh làm việc (mát).
● Evaporative lắng đọng: trong đó các tài liệu để được lắng đọng được đun nóng đến áp suất hơi cao bằng điện trở, Hệ thống sưởi trong chân không "cao".
● Xung laser lắng đọng: trong đó một laser sứ ablates tài liệu từ mục tiêu vào một hơi.
●Sputter lắng đọng: Trong đó plasma sáng xả (thường địa phương xung quanh việc "mục tiêu"bởi một nam châm) bombards các vật liệu tạo một số đó là một hơi cho sau đó lắng đọng.
● Pulsed lắng đọng electron: trong đó đánh giá cao năng lượng xung tia điện tử ablates vật liệu từ các mục tiêu tạo ra một dòng huyết tương trong điều kiện nonequilibrium.
● Thăng hoa bánh sandwich phương pháp: sử dụng cho việc tạo ra các tinh thể nhân tạo.
Kỹ thuật characterisation màng mỏng khác nhau có thể được sử dụng để đo lường các tính chất vật lý của lớp phủ PVD, chẳng hạn như:
● Calo tester: bài kiểm tra độ dày lớp phủ
● Nanoindentation: kiểm tra độ cứng cho các vật liệu màng mỏng
● Pin trên đĩa thử: kiểm tra hệ số hao mòn và ma sát
● Mẻ thử: bài kiểm tra độ bám dính sơn
● X-quang phân tích vi mô: điều tra các tính năng cấu trúc và heterogeneity của các nguyên tố thành phần bề mặt tăng trưởng
So với các kỹ thuật khác của lắng đọng
Lợi thế
● PVD lợp là đôi khi khó khăn hơn và khả năng chống ăn mòn hơn so với lớp phủ được áp dụng bởi quá trình electroplating. Hầu hết các chất phủ có nhiệt độ cao và sức mạnh tác động tốt, tuyệt vời chịu mài mòn và bền đến bảo vệ topcoats gần như không bao giờ là cần thiết.
● Có khả năng sử dụng hầu như bất kỳ loại vật liệu vô cơ và hữu cơ một số phủ trên một nhóm bằng nhau đa dạng của các chất nền và các bề mặt bằng cách sử dụng một loạt các kết thúc.
● Thân thiện môi trường hơn so với quá trình sơn truyền thống như xi mạ và sơn. [cần dẫn nguồn]
● Nhiều hơn một kỹ thuật có thể được sử dụng để gửi tiền một bộ phim được đưa ra.
Nhược điểm
● Công nghệ cụ thể có thể áp đặt những hạn chế; Ví dụ, dòng-of-sight chuyển là điển hình của hầu hết các kỹ thuật sơn PVD, Tuy nhiên có những phương pháp cho phép các bảo hiểm đầy đủ của hình phức tạp.
● Một số công nghệ PVD thường hoạt động ở nhiệt độ rất cao và khoảng trống, cần đặc biệt chú ý bằng cách điều hành nhân sự.
● Đòi hỏi một hệ thống nước làm mát tiêu tan nhiệt lớn tải.