Phân tích khả năng mang điện của mục tiêu phún xạ magnetron
May 24, 2018| 1. Khu vực mục tiêu và phạm vi công suất tải
(1) Mật độ công suất của mục tiêu magnetron phẳng tròn thường là 1 ~ 25w / cm 2
(2) Mật độ công suất của mục tiêu magnetron phẳng hình chữ nhật là 1 ~ 36w / cm 2
(3) Mật độ công suất của mục tiêu magnetron cột và mục tiêu magnetron phẳng hình nón (S gun) thường là 40 ~ 50w / cm 2 .
2. Công suất thực tế của mục tiêu magnetron
Ngoài công nghệ phún xạ và yêu cầu chất lượng phim, sức chịu tải thực tế của mục tiêu magnetron cũng liên quan chặt chẽ đến điều kiện làm mát và điều kiện tản nhiệt của mục tiêu.
Mục tiêu magnetron có thể được chia thành hai loại "mục tiêu làm mát nước trực tiếp" và "mục tiêu làm mát nước gián tiếp" dựa trên phương pháp làm mát.
Xem xét sự lão hóa của mục tiêu sau khi sử dụng lâu dài làm cho điều kiện tản nhiệt kém và có tính đến các hệ số truyền nhiệt khác nhau của các vật liệu đích khác nhau, công suất tải tối đa của mục tiêu magnetron và công suất tối đa thực tế của mục tiêu làm mát trực tiếp có thể được đặt nhẹ hơn giới hạn trên của phạm vi mật độ công suất. Và tải trọng tối đa thực tế của mục tiêu làm mát nước gián tiếp có thể được thiết lập khoảng một nửa giới hạn trên của phạm vi mật độ công suất.
Khi các mục tiêu magnetron (chủ yếu là Cu, Ag, Brass, và Al bronze) "tự phún xạ", nó thường sử dụng một mục tiêu phún xạ magnetron được thiết kế đặc biệt để "trực tiếp làm mát bằng nước". Sức mạnh mang theo cuối cùng để sử dụng phải lớn hơn giới hạn trên của phạm vi mật độ công suất mục tiêu.