Đặc điểm và phân loại của các đơn vị chân không cực cao
Dec 13, 2018| C vi khuẩn và phân loại các đơn vị chân không cực cao
IKS PVD manufacture Sản xuất máy sơn chân không PVD ， liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ ， iks.pvd @ foxmail.com để biết thêm chi tiết về máy sơn.
Các đơn vị chân không siêu cao làm việc ở mức hơn 10 -5 pa có bơm khuếch tán, các đơn vị chân không siêu cao bơm phân tử và các đơn vị chân không siêu cao không dầu. Các đơn vị có các đặc điểm sau:
1. Độ chân không cuối cùng cao của bơm chính, 10 -7 ~ 10 -8 pa ở trên;
2. Có thể chịu được nhiệt độ cao 200 ~ 450 ℃ nướng ;
3. Áp suất riêng phần của khí chảy ngược trong bơm chính rất thấp;
4. Đối với độ chọn lọc khí bơm của bơm chính, phải trang bị bơm phụ đủ lớn;
5. Yêu cầu của buồng chân không, đường ống, van và các thành phần khác của tốc độ đầu ra vật liệu rất thấp, tốc độ rò rỉ rất nhỏ.
(1) Máy bơm khuếch tán cực cao
Bơm khuếch tán như một máy bơm ưu tiên trong đơn vị chân không cuối cùng, độ chân không cực cao là 10-7 ~ 10-8 pa.
Để giảm từ bơm khuếch tán trước mức khuếch tán khí và chặn tác dụng chống khuếch tán dầu cơ học trên chân không cuối cùng, nhưng trước cấp bơm khuếch tán, hãy bơm một tốc độ bơm nhỏ của bơm khuếch tán, để giảm tỷ lệ nén, giảm Sự khuếch tán Như trong đầu vào bơm khuếch tán, thêm sự thăng hoa titan ở trên có thể làm giảm thêm áp suất riêng phần nitơ từ bơm khuếch tán, có thể có được độ chân không cực cao 10 đến 11 pa .
(2) Bơm chân không phân tử cực cao
Bộ phận chân không cực cao với bơm phân tử là máy bơm chính có độ chân không tối đa 10-8pa, được đặc trưng bởi sự khởi động nhanh và ô nhiễm dầu nhỏ. Ngoài ra, một giếng lạnh nitơ lỏng có thể được thêm vào thiết bị để tăng tốc độ bơm. Một giếng nước lạnh có thể được đặt ở đầu ra của bơm cơ học để ngăn hơi dầu xâm nhập vào hệ thống .
(3) Bộ chân không cực cao không dầu
Các đơn vị chân không không sử dụng dầu làm chất lỏng làm việc và không được niêm phong bằng vật liệu hữu cơ được gọi là máy bơm chính thường được sử dụng trong các đơn vị chân không siêu cao không dầu, như bơm lạnh, bơm titan, bơm ion, v.v., có thể đạt được mức độ chân không cuối cùng là 10 -7 ~ 10 -8 pa. So với các đơn vị chân không chứa dầu, nó có những ưu điểm sau:
1) chân không sạch mà không có nguồn ô nhiễm có thể thu được;
2) Khi khởi động bơm chân không không dầu, bơm trước khi bơm có thể được cách ly;
3) Nếu quá trình bơm dừng đột ngột, hệ thống sẽ không bị ô nhiễm;
4) Không dầu, không rung, cải thiện môi trường làm việc;
5) Chân không giới hạn cao, tốc độ bơm cao, thời gian bơm ngắn.