Thường gặp rắc rối-chụp phim Magnetron Sputtering

Bộ phim có màu xám và tối

1. Mức độ chân không thấp hơn 0,67Pa. Mức độ của chân không nên được tăng lên 0.13-0.4Pa.

2. Độ tinh khiết của argon nhỏ hơn 99,9%. Plaese sử dụng argon với độ tinh khiết 99,99%.

3. rò rỉ hệ thống bơm hơi. Hệ thống lạm phát nên được kiểm tra để loại bỏ rò rỉ.

4. Primer không được chữa khỏi hoàn toàn. Thời gian đóng rắn của mồi phải được kéo dài một cách thích hợp.

5. Lượng khí phát ra từ phần mạ quá lớn. Phòng nên được sấy khô và niêm phong

Bề mặt mờ và xỉn

1. Thời gian phún xạ quá dài. Thời gian nên được rút ngắn một cách thích hợp.

2. Tốc độ phún xạ và tạo màng quá nhanh. Xin vui lòng giảm đúng hiện tại phún xạ hoặc điện áp.

Màu sắc không đồng đều của lớp phủ

1. Bộ phim quá mỏng. Vui lòng tăng tốc độ phún xạ hoặc thời gian phún xạ.

2. Thiết kế cố định thủy lợi. Thiết kế cần phải được cải thiện.

3. Hình học của bề mặt quá phức tạp. Vui lòng tăng tốc độ quay của bề mặt một cách thích hợp.

Phim có nếp nhăn hoặc vết nứt

1. Tốc độ bay hơi quá nhanh. Nó phải được làm chậm lại.

2. Bộ phim quá dày. Thời gian phún xạ nên được rút ngắn một cách thích hợp.

3. Nhiệt độ bề mặt quá cao. Xin vui lòng rút ngắn thời gian gia nhiệt của chất nền.

Bề mặt phim có vết nước, dấu vân tay và các hạt bồ hóng

1. Chất nền không được sấy khô sau khi lau chùi. Điều trị trước khi mạ nên được tăng cường.

2. Bề mặt của chất nền bị văng nước hoặc nước bọt. Các nhà điều hành nên đeo khẩu trang.

Độ bám dính kém

1. Tẩy dầu mỡ của các bộ phận mạ. Điều trị trước khi mạ nên được tăng cường.

2. Buồng chân không không sạch. Buồng chân không nên được làm sạch. Xin lưu ý rằng trong quá trình bốc dỡ các mục tiêu, nghiêm cấm sử dụng tay hoặc vật ô uế khác là chạm vào nguồn magnetron.

3. Các vật cố định không sạch sẽ. Các vật cố định nên được làm sạch.

4. Kiểm soát không đúng các điều kiện quá trình phún xạ. Vui lòng cải thiện điều kiện quá trình phún xạ.