Hệ thống bay hơi tia điện tử

Các chùm tia điện tử và hệ thống bay hơi nhiệt. Các giai đoạn xoay hành tinh hoặc đơn giản có thể bao gồm việc gia nhiệt đến nhiệt độ lớn hơn 950 ° C, tùy thuộc vào kích thước và vật liệu bề mặt. Nguồn ion cho IBAD và chất nền có thể được tích hợp sẵn vào hệ thống. Hệ thống bay hơi đi kèm với các trạm bơm hoàn chỉnh, van bằng tay hoặc điện khí nén, tất cả các máy đo chân không, hộp phân phối điện, kệ điện tử, đa tạp nước và không khí, và khóa liên động an toàn. Hệ thống có thể được vận hành bằng tay hoặc thông qua điều khiển máy tính. Substrate máy sưởi và thao tác có thể được thiết kế cho hình dạng và kích cỡ chất nền phi tiêu chuẩn. Ứng dụng bao gồm nghiên cứu vật liệu cơ bản, thiết bị SAW, silicon và kim loại wafer GaAs, MEMS hoặc công nghệ hiển thị và hơn thế nữa.

Nhiều tùy chọn hệ thống có sẵn, bao gồm một loạt các chùm tia điện tử và nguồn nhiệt, nguồn điện, tích hợp chùm ion hoặc nguồn phún xạ magnetron, khả năng của RGA, UHV, khóa tải nhiều wafer và màn hình tại chỗ.