Yêu cầu về môi trường của thiết bị phủ PVD
Jan 20, 2018| Bởi vì máy hút chân không đang hoạt động dưới điều kiện chân không, thiết bị cần đáp ứng các yêu cầu về môi trường của chân không.
Các tiêu chuẩn ngành công nghiệp xác định của máy hút chân không (bao gồm các thông số kỹ thuật chung thiết bị chân không , thiết bị ion chân không , thiết bị phủ xơ chân không và thiết bị sơn bốc hơi chân không) đều đưa ra các yêu cầu rõ ràng về môi trường. Chỉ đáp ứng các yêu cầu về môi trường của thiết bị phủ chân không có thể sản xuất lớp phủ PVD tốt.
Các yêu cầu về môi trường của chân không nói chung bao gồm các yêu cầu của thiết bị hút chân không đối với môi trường phòng thí nghiệm (hoặc xưởng) nơi đặt thiết bị hút chân không, chẳng hạn như nhiệt độ và các hạt trong không khí. Cũng như yêu cầu của các bộ phận hoặc bề mặt được phơi ra trong chân không hoặc ở trạng thái chân không. Hai khía cạnh này có liên quan chặt chẽ. Chất lượng môi trường xung quanh trực tiếp ảnh hưởng đến việc sử dụng thiết bị hút chân không thông thường, buồng chân không hoặc các bộ phận trong buồng sạch sẽ hoặc không có tác động trực tiếp đến hiệu suất của thiết bị. Nếu không khí có chứa rất nhiều hơi nước và bụi, trong trường hợp buồng chân không không sạch sẽ, không thích hợp để bơm không khí có thể ăn mòn kim loại, phản ứng với dầu chân không hoặc chứa các hạt bụi. Hơi nước là một loại khí có thể ngưng tụ, khi một lượng lớn khí condensable được chiết xuất, sự nhiễm bẩn của dầu bơm sẽ nghiêm trọng hơn. Kết quả là chân không cuối cùng của bơm sẽ giảm và sau đó làm giảm hiệu suất bơm của bơm.
Bụi trong môi trường công nghiệp được phân biệt bằng bột, chất aerosol và bụi. Bột là bộ sưu tập bột hoặc các hạt rắn. Aerosol là một hệ thống vật liệu trôi nổi trong không khí ở dạng rắn hoặc các phân tử chất lỏng. Cho dù vật liệu là rắn hoặc lỏng, bất kỳ hạt có thể được gọi chung là các hạt bụi. Tiêu chuẩn không khí sạch sẽ được xác định bởi kích thước của các hạt bụi và sau đó tùy chỉnh mức độ của phòng sạch.
Các điều kiện bình thường của thiết bị phủ chân không bao gồm:
1. Nhiệt độ môi trường xung quanh: 10 ~ 30 ℃
2. Độ ẩm tương đối ≤ 70%
3. Nhiệt độ đầu vào của nước làm mát không được cao hơn 25 ℃
4. Nước làm lạnh là nước máy của thành phố hoặc nước tương đương.
5. Điện áp cung cấp là 380V, ba pha là 50Hz hoặc 220V, một pha là 50Hz (xác định theo yêu cầu của các thiết bị điện đang hoạt động), phạm vi dao động điện áp là 342V ~ 399V hoặc 198V ~ 231V, phạm vi dao động tần số là 49 ~ 51Hz .
6. Yêu cầu khí nén, ni tơ lỏng, áp suất nước nóng và nước lạnh, nhiệt độ và mức tiêu hao thiết bị phải được ghi trong hướng dẫn sử dụng sản phẩm.
7. Môi trường xung quanh cần được sạch sẽ và sạch sẽ không khí sẽ không chứa bụi hoặc khí có thể gây ăn mòn bề mặt của các thiết bị điện và các bộ phận kim loại khác hoặc làm cho độ dẫn điện của các bộ phận kim loại.
Thêm vào đó, phòng thí nghiệm hoặc xưởng sản xuất nơi đặt thiết bị chân không phải được làm sạch bằng sàn gỗ hoặc sàn gỗ. Để ngăn chặn khí thải bởi bơm cơ học khỏi gây ô nhiễm môi trường phòng thí nghiệm, ống xả (kim loại và ống cao su) phải được lắp đặt trên cổng xả của bơm để xả khí ra khỏi phòng.
