Kiến thức ban đầu về quá trình phủ bay hơi chân không
May 23, 2019| Kiến thức ban đầu về quá trình sơn bay hơi chân không
Các thành phần chính của cấu trúc thiết bị bay hơi chân không như sau:
(1) buồng chân không, cung cấp mức độ chân không cần thiết cho sự bay hơi và ngăn ngừa các vật liệu bị oxy hóa trong quá trình bay hơi; (2) nguồn bay hơi và lò sưởi bay hơi, chủ yếu được sử dụng để đặt các vật liệu bay hơi và làm nóng chúng; (3) chất nền để nhận các chất bay hơi và tạo thành một màng bay hơi rắn trên bề mặt của nó; (4) lò sưởi tấm cơ sở, được sử dụng để sưởi ấm tấm cơ sở; (5) thiết bị đo nhiệt độ là thiết bị đo nhiệt độ cặp nhiệt điện.
Lớp phủ bay hơi chân không bao gồm các quá trình sau đây. 1. Quá trình gia nhiệt và bay hơi, bao gồm quá trình chuyển pha từ pha ngưng tụ sang pha khí (pha rắn, pha lỏng hoặc pha khí). Khi một hợp chất được hóa hơi từ mỗi chất ở nhiệt độ khác nhau và ở áp suất hơi bão hòa khác nhau, các thành phần của nó sẽ phản ứng với nhau, một số trong đó đi vào không gian bay hơi dưới dạng khí hoặc hơi.2. Vận chuyển các nguyên tử hoặc phân tử hóa hơi giữa nguồn bay hơi và chất nền. Số lượng va chạm giữa các hạt này và các phân tử khí còn lại trong buồng chân không trong quá trình bay vào không gian phụ thuộc vào số lượng va chạm giữa các phân tử khí của các nguyên tử bay hơi, đường đi tự do trung bình của các nguyên tử bay hơi và khoảng cách giữa nguồn bay hơi và chất nền. 3. Quá trình các nguyên tử hoặc phân tử hóa hơi được lắng đọng trên đế, nghĩa là quá trình ngưng tụ hơi, tạo mầm, tăng trưởng hạt nhân và hình thành các màng mỏng liên tục. Do nhiệt độ cơ chất thấp hơn nhiều so với nguồn bay hơi, nên sự chuyển pha của các phân tử trầm tích xảy ra trực tiếp trên bề mặt chất nền từ pha khí sang pha rắn.
Trong quá trình bay hơi chân không, môi trường chân không cho lớp bay hơi có vai trò quyết định, vì sự bay hơi của các nguyên tử hoặc phân tử sẽ va chạm với số lượng lớn các phân tử không khí, ô nhiễm lớp màng, tạo thành oxit hoặc thậm chí nguồn bốc hơi bị đốt cháy oxy hóa hoặc do các phân tử không khí khối va chạm, khó tạo thành màng mỏng liên tục đồng nhất. Vì vậy, điều quan trọng là phải có chân không ổn định và quá trình bay hơi cũng liên quan đến lý thuyết áp suất hơi bão hòa của vật liệu. Vì vậy, bạn cũng cần biết một vài điều về áp suất hơi bão hòa để hiểu quá trình bay hơi.
IKS PVD equipment thiết bị phủ bay hơi ， liên hệ với iks.pvd@foxmail.com
