Cung cấp năng lượng phún xạ Magnetron
Aug 01, 2024| Cung cấp năng lượng phún xạ Magnetron
Từ quan điểm dạng sóng đầu ra, với sự phát triển của chính công nghệ phún xạ magnetron, nó đã trải qua một số cách DC, xung đơn cực, xung lưỡng cực đối xứng (cung cấp năng lượng phún xạ magnetron tần số trung bình) và xung lưỡng cực (công suất phún xạ magnetron tần số trung bình không đối xứng). cung cấp). Hiện nay, nguồn cung cấp năng lượng phún xạ magnetron mới được chế tạo bằng công nghệ cung cấp năng lượng chuyển đổi biến tần tần số cao, và nguồn cung cấp năng lượng phún xạ magnetron tần số trung bình đã trở thành nguồn cung cấp năng lượng ưa thích cho các thiết bị phún xạ magnetron mới. Để kiểm soát chính xác độ dày của lớp màng, bộ nguồn phún xạ magnetron phải hoạt động ổn định và có đặc tính ổn định tốt. Hiện nay, công dụng chính của chế độ dòng điện không đổi, còn có chế độ nguồn không đổi, nhưng hiếm khi sử dụng chế độ điện áp không đổi. Ngoài ra, một ưu điểm đáng kể của công nghệ phủ phún xạ magnetron là lớp màng dày đặc và độ hoàn thiện tốt. Để đạt được ưu điểm này, cần hạn chế nghiêm ngặt số lần kích động và năng lượng của từng lần kích động trên bề mặt mục tiêu trong quá trình phún xạ magnetron, đồng thời giảm thiểu số lượng hạt mục tiêu vĩ mô do mô men kích thích gây ra, điều này sẽ làm giảm mật độ và độ hoàn thiện của lớp màng, đồng thời khiến màng bị bong ra một cách nghiêm trọng
Công ty IKS PVD, máy phủ trang trí, máy phủ dụng cụ, máy phủ DLC, máy phủ quang học, dây chuyền sơn chân không PVD, dự án chìa khóa trao tay đều có sẵn. Hãy liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, E-mail: iks.pvd@foxmail.com