Vấn đề cần chú ý khi lựa chọn mục tiêu PVD Coating

Khi chọn mục tiêu, ngoại trừ việc áp dụng các lớp phủ, các vấn đề sau đây cũng nên được xem xét:

◆ Lớp phủ được lắng đọng bởi các mục tiêu nên có độ bền cơ học tốt và ổn định hóa học

◆ Lớp phủ lắng đọng bởi các mục tiêu phải có lực ràng buộc tốt với đế. Nếu không, các vật liệu phủ có lực ràng buộc tốt với bề mặt cần được sử dụng, và trước tiên là phún xạ và lắng đọng màng nền và sau đó chuẩn bị lớp phủ mong muốn.

◆ Khi lớp phủ được tạo thành bằng cách phún xạ phản ứng, vật liệu phủ phải dễ phản ứng với khí và tạo ra màng ghép.

◆ Dưới tiền đề thỏa mãn các yêu cầu về hiệu suất lớp phủ, sự khác biệt nhỏ hơn của hệ số giãn nở nhiệt giữa mục tiêu và chất nền, càng tốt, để giảm ảnh hưởng của ứng suất nhiệt.

◆ Mục tiêu phải đáp ứng các yêu cầu kỹ thuật về độ tinh khiết, hàm lượng tạp chất, tính đồng nhất thành phần, độ chính xác gia công và vân vân.