Vấn đề cần chú ý khi chọn mục tiêu PVD Coating
Jun 04, 2018| Ngoài việc áp dụng các lớp phủ, các vấn đề sau đây cần được xem xét khi lựa chọn đúng mục tiêu :
◆ Cần có độ bền cơ học tốt và ổn định hóa học sau khi tạo màng.
◆ Cần có lực liên kết tốt với chất nền sau khi màng đích được hình thành. Nếu không, vật liệu màng có độ bám dính tốt với bề mặt phải được sử dụng. Đầu tiên, một lớp màng dưới bị phún xạ và sau đó lớp màng mong muốn được lắng đọng.
◆ Vật liệu màng được sử dụng cho bộ phim phản ứng phản ứng phải dễ dàng phản ứng với khí phản ứng để tạo thành các màng phức hợp.
◆ Dưới tiền đề thỏa mãn các yêu cầu về hiệu suất lớp phủ, sự khác biệt nhỏ hơn giữa hệ số giãn nở nhiệt của mục tiêu và chất nền càng tốt. Để giảm ảnh hưởng của ứng suất nhiệt
◆ Các mục tiêu được lựa chọn phải đáp ứng các yêu cầu kỹ thuật về độ tinh khiết, hàm lượng tạp chất, tính đồng nhất thành phần, độ chính xác gia công và vân vân.
