Phạm vi đo của máy đo chân không ion hóa Cathode nóng

Mặc dù phạm vi đo của máy đo chân không ion hóa cathode nóng có thể đạt tới 10-2~10-11mbar, nhưng khi áp suất quá cao, mối quan hệ giữa dòng hạt và áp suất sẽ lệch khỏi tuyến tính và có xu hướng bão hòa. Để mở rộng phạm vi đo, máy đo chân không Pirani thường được sử dụng tại điểm bắt đầu của máy bơm (trong trường hợp áp suất quá cao).

Ngoài ra, giới hạn dưới của phép đo của máy đo chân không ion hóa catốt nóng thông thường là khoảng 10-6bậc độ lớn Pa: Khi cực dương cổng bị bắn phá bởi các electron, tia X mềm được tạo ra và sự phát xạ quang điện tử xảy ra khi ion bộ thu nhận được tia này. Vì photon phát ra từ bộ thu tương đương với các ion mà nó thu thập, nên dòng quang nền không phụ thuộc vào áp suất được hình thành trong mạch thu ion, được biểu thị bằng chỉ số áp suất khoảng 10-6Pa khi đo. Để loại bỏ ảnh hưởng của dòng quang nền và mở rộng giới hạn đo của máy đo chân không ion hóa catốt nóng, máy đo chân không ion hóa BA (giới hạn đo có thể đạt tới 10-8Pa), máy đo chân không triệt tiêu (về mặt lý thuyết có thể đạt tới {{6} }Pa), máy đo chân không được điều chế (10-10Pa), máy đo chân không tách biệt (10-11Pa), v.v.

Công ty IKS PVD, máy phủ trang trí, máy phủ dụng cụ, máy phủ DLC, máy phủ quang học, dây chuyền sơn chân không PVD, dự án chìa khóa trao tay đều có sẵn. Hãy liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, E-mail: iks.pvd@foxmail.com