Làm sạch tiền xử lý PVD

Làm sạch tiền xử lý PVD

Làm sạch là thông qua hóa học hoặc (và) phương pháp vật lý sẽ là dầu gia công, rỉ sét, bụi và loại bỏ sạch khác, để đảm bảo rằng phôi có được độ bám dính tốt và sản xuất trơn tru. Làm sạch là điều cần thiết trước khi quy trình phủ PVD, cũng như công nghệ sản xuất lớp phủ PVD quan trọng nhất, không có vấn đề gì, lớp phủ có thể làm gián đoạn quá trình sản xuất phải trì hoãn, quá trình phủ, sự cố hoặc lực liên kết lớp phủ và dẫn đến khiếu nại và bồi thường của khách hàng , đặc biệt là trong các thiết bị sơn trong điều kiện khả năng kỹ thuật không cao, làm sạch vấn đề, có nhiều khả năng xảy ra rủi ro.

Có bốn yếu tố ảnh hưởng đến chất lượng làm sạch, đó là: thời gian làm sạch, tác nhân hóa học, tác động cơ học và nhiệt độ chất lỏng làm sạch, bốn yếu tố này cũng ảnh hưởng lẫn nhau, sự suy yếu của một yếu tố có thể được tạo ra bằng cách tăng cường hiệu quả của ba yếu tố kia. các yếu tố, và ngược lại. Trong số bốn yếu tố này, thời gian làm sạch tối thiểu cũng là mục tiêu để theo đuổi, có thể cải thiện hiệu quả làm sạch. Rút ngắn thời gian sản xuất và thời gian sản xuất.

Các phương pháp và bước làm sạch chính nên bao gồm: phun hóa chất, ngâm hóa chất và làm sạch siêu âm, súc rửa, sấy khô.

1) Phun hóa chất

Xịt rất hiệu quả để làm sạch, nó có thể loại bỏ hầu hết dầu và các chất gây ô nhiễm trên phôi. Đặc biệt đối với phôi có lỗ, nó hiệu quả hơn. Tác nhân hóa học được phun trên phôi sẽ chảy vào lỗ hoặc tác nhân hóa học sẽ được phun trực tiếp vào lỗ để xả vào thành trong của lỗ. Vì vậy, khi làm sạch thẻ nạp, hãy chắc chắn để cho phôi có thể được phun. Ngoài ra, nếu phun hóa chất vào phôi không thể chảy ngay lập tức, sẽ cản trở hóa chất mới tiếp tục làm sạch phôi và trong bước sấy sau đây không dễ khô, vì vậy, khi nạp THẺ, để đảm bảo rằng dòng chảy đến phôi có thể tự nhiên chảy đi.

2) ngâm hóa chất và làm sạch siêu âm

Siêu âm là một loại sóng âm thanh có tần số lớn hơn 20 kHz vượt quá phạm vi nghe của con người. Sự lan truyền của siêu âm phụ thuộc vào môi trường đàn hồi. Khi được truyền, các hạt trong môi trường đàn hồi dao động và truyền năng lượng theo hướng truyền của siêu âm qua môi trường. Loại sóng này có thể được chia thành sóng dọc và sóng ngang. Trong chất rắn, cả hai có thể được truyền đi, trong khi trong chất khí và chất lỏng, chỉ có thể truyền sóng dọc. Sóng siêu âm có thể gây rung hạt. Gia tốc của rung hạt tỷ lệ với bình phương tần số siêu âm. Do đó, siêu âm hàng chục kilohertz sẽ tạo ra một lực lớn, lan truyền siêu âm mạnh trong chất lỏng, do hiệu ứng phi tuyến, sẽ tạo ra âm thanh. Khi bong bóng xâm thực đột ngột đóng lại, sóng xung kích có thể tạo ra hàng ngàn áp lực khí quyển xung quanh nó, và tác động trực tiếp và liên tục vào lớp ô nhiễm. Một mặt, nó sẽ làm hỏng sự hấp phụ của bụi bẩn và bề mặt của bộ phận làm sạch; mặt khác, nó cũng sẽ gây ra sự phá hủy của lớp bụi bẩn và tách ra khỏi bề mặt của bộ phận làm sạch và phân tán chúng vào dung dịch làm sạch. Các rung động của bong bóng cũng chà trên bề mặt của vật rắn. Bong bóng cũng có thể "khoan" vào các vết nứt để làm cho chúng rung động, khiến bụi bẩn rơi ra. Đối với bụi bẩn nhờn, do xâm thực siêu âm, hai chất lỏng nhanh chóng phân tán tại giao diện và nhũ hóa. Khi các hạt rắn được phủ bởi dầu và bám dính trên bề mặt của các bộ phận làm sạch, dầu được nhũ hóa và các hạt rắn rơi ra. Bong bóng Cavites sẽ làm cho chính chất lỏng tạo ra lưu thông trong quá trình rung động, được gọi là dòng âm thanh. Anh ta có thể tạo ra bong bóng rung bề mặt độ dốc tốc độ cao và ứng suất nhớt, làm sạch bụi bẩn trên bề mặt hư hỏng và mất mát, tạo bọt siêu âm trên bề mặt rắn và lỏng do phản lực siêu nhỏ có thể loại bỏ hoặc làm suy yếu lớp ranh giới, sự ăn mòn Bề mặt rắn, tăng hiệu quả trộn, tăng tốc độ hòa tan bụi bẩn hòa tan, tăng cường các chất tẩy rửa hóa học và làm sạch. Ngoài ra, rung siêu âm trong chất lỏng làm sạch gây ra rất nhiều tốc độ và gia tốc rung của hạt, cũng làm cho bề mặt của các bộ phận làm sạch bụi bẩn do tác động thường xuyên và dữ dội

Bởi vì sóng siêu âm sẽ tạo ra vùng áp suất thấp và vùng áp suất cao trong quá trình truyền tải, và hiện tượng xâm thực chỉ xảy ra ở vùng áp suất thấp. Do đó, phôi cần được làm sạch cần rung lên và xuống trong sóng siêu âm, sao cho mỗi khu vực trên phôi đi qua vùng áp suất thấp để có được hiệu ứng làm sạch "bàn chải siêu nhỏ". Vận tốc của sóng siêu âm trong nước là 1500m / s, giả sử tần số chuyển đổi siêu âm là 30000Hz, sau đó bước sóng của quá trình chuyển đổi siêu âm được sử dụng

( Lambda) = vận tốc / tần số = 1500/30000 = 0,05m = 5cm

Do đó, nếu sử dụng sóng siêu âm 30000Hz, khoảng cách rung lên xuống của phôi không được nhỏ hơn 5 cm. Đối với các tần số khác. Khoảng cách rung có thể được tính theo cùng một cách. Trong tác nhân hóa học tinh khiết làm sạch ngâm, dung dịch làm sạch trước tiên hòa tan các chất ô nhiễm ở lớp trên cùng của phôi, sau đó thấm dần và hòa tan vào lớp bị ô nhiễm. Trong quá trình này, một lớp của lớp bão hòa hòa tan sẽ được hình thành trong lớp bề mặt của phôi. Lớp bão hòa này cô lập dung dịch làm sạch hóa học mới từ các chất ô nhiễm trong lớp sâu và ngăn dung dịch tiếp tục hòa tan các chất ô nhiễm trong lớp sâu. Nếu lớp bão hòa không thể bị phá hủy và loại bỏ, quá trình làm sạch sẽ dừng lại. Đối với phôi bẩn, phương pháp làm sạch ngâm tinh khiết rất khó để làm sạch hoàn toàn phôi. Việc sử dụng "bàn chải siêu nhỏ" siêu âm có thể phá hủy lớp bề mặt của lớp bão hòa hòa tan, các tác nhân hóa học mới đến lớp ô nhiễm sâu hơn tiếp tục hòa tan, siêu âm sau đó tiếp tục phá hủy sự hình thành mới của lớp bão hòa hòa tan, do đó chu trình, làm sạch tiếp tục , cho đến khi phôi sạch.

3) Rửa sạch

Mục đích của việc súc rửa là làm sạch hoàn toàn dung dịch tẩy rửa còn sót lại hoặc các chất bẩn khác trên phôi, để phôi được sạch hơn trước khi sấy. Phần cặn trên phôi sẽ khó làm sạch sau khi sấy. Trong công nghiệp. Nước khử ion thường được sử dụng để súc rửa và nước khử ion được sử dụng thay vì nước máy để rửa. Các tạp chất và chất ô nhiễm trong nước máy có thể tránh được để lại trên phôi. Tuy nhiên, nước khử ion có tính ăn mòn cao và sẽ gây ra sự ăn mòn cho phôi. Do đó, một lượng chất chống gỉ nhất định phải được thêm vào nước khử ion để rửa phôi. Để ngăn phôi không bị ăn mòn trong quá trình súc rửa và sấy khô.

4) Sấy

Sau khi làm sạch phôi thường được đưa vào sấy lò, bao gồm thân lò, ống thoát nước, hệ thống sưởi, hệ thống xả và hệ thống kiểm soát nhiệt độ. Nước sôi, nhiệt độ bay hơi là 100oC và nhiệt độ nướng phải lớn hơn 100oC , tốt nhất trong khoảng 110oC ~ 130oC , cả hai đều có thể là các tạo tác làm khô bay hơi ẩm nhanh chóng. Và không phải sau khi sấy, nhiệt độ phôi quá cao và cần một thời gian dài để làm mát.

IKS PVD, Sản xuất hệ thống sơn chân không PVD. Liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ ， iks.pvd@foxmail.com