Lựa chọn và chức năng bình xăng và bơm bảo trì

Do thời gian khởi động dài của bơm khuếch tán và bơm tăng áp dầu, trong thiết bị vận hành định kỳ, khi bốc dỡ, để rút ngắn thời gian làm việc mà không cắt đứt sức mạnh của bơm khuếch tán và bơm tăng áp dầu , van chân không cao là van trước đường ống được đóng để làm cho máy bơm chính hoạt động bình thường. Vì van luôn có lượng rò rỉ không khí rất nhỏ và giảm phát xạ bề mặt, áp suất tại đầu ra của máy bơm chính sẽ tăng lên trong một khoảng thời gian. Nếu nó vượt quá áp suất xả tối đa của máy bơm chính và trở về máy bơm, hơi dầu sẽ oxy hóa.

Để giải quyết vấn đề này, một cách tiếp cận là sử dụng máy bơm dự phòng để tiếp tục bơm ra khí xả của máy bơm chính, nhưng tại thời điểm này lượng khí thải ra từ máy bơm chính là rất nhỏ, và có một hiện tượng là máy bơm ủng hộ quá mức và lãng phí rất nhiều năng lượng. Vì vậy, một phương pháp khác có thể được sử dụng, dừng công việc của máy bơm ủng hộ, đóng van của đường trước và đặt một bơm bảo trì hoặc bình gas ở đầu ra của máy bơm chính, có thể đảm bảo rằng khí trong máy bơm chính có thể xả và tiết kiệm năng lượng. Các bình gas không thể quá lớn, nó chỉ có thể được sử dụng trên các hệ thống nhỏ sử dụng bơm khuếch tán làm bơm chính, trong khi bơm giữ có thể được sử dụng trên một hệ thống bơm chính lớn. Một chức năng khác của bể chứa khí là một số thiết bị ứng dụng nhỏ hơn không cho phép rung trong quá trình của nó, nghĩa là, máy bơm dự phòng phải được dừng lại trong quá trình, tại thời điểm này bình gas được sử dụng để lưu trữ khí thải ra từ máy bơm chính đảm bảo chất lượng của phôi gia công trong quá trình xử lý.

Việc tính toán thể tích của bể chứa khí nhằm mục đích chống rung dựa trên thực tế là khí thải ra khỏi buồng chân không bởi bơm khuếch tán được thải hoàn toàn vào bình chứa khí, khiến áp suất trong bể tăng lên không nhiều hơn áp suất xả tối đa tại đầu ra của bơm khuếch tán.

Thể tích bể chứa khí nhằm mục đích tiết kiệm năng lượng và rút ngắn thời gian làm việc được tính toán dựa trên những cân nhắc sau: Khi bơm lùi ngừng hoạt động và bơm khuếch tán vẫn hoạt động bình thường, bơm khuếch tán xả khí ra bình xăng. Nguồn khí tại thời điểm này là tốc độ dòng rò giữa van chân không cao ở đầu vào của bơm khuếch tán và van phía trước tại đầu ra của bơm khuếch tán, và dòng giảm phát bề mặt trong khoảng thời gian. Những dòng chảy này gây áp lực tại đầu ra của bơm khuếch tán tăng lên, nhưng nó không thể vượt quá áp suất xả tối đa của bơm khuếch tán.

Mục đích của việc sử dụng bơm bảo trì là tiết kiệm năng lượng. Nó được đặt ở đầu ra của bơm lưu lượng hơi dầu, nói chung là song song với bơm cơ học giai đoạn trước. Nó là cùng một loại máy bơm như máy bơm ủng hộ. Kinh nghiệm cho thấy rằng duy trì tốc độ bơm bơm có thể bằng 1/10 tốc độ bơm của máy bơm dự phòng. Sử dụng bơm bảo trì có thể tiết kiệm rất nhiều năng lượng và giảm tiếng ồn môi trường.