Cấu trúc và sơ đồ của bơm phân tử

Các thành phần cốt lõi của bơm phân tử là lưỡi quay và lưỡi dao cố định (Hình 1). Tốc độ quay của lưỡi quay đạt 1800 đến 90000 vòng / phút, tốc độ ở đầu lưỡi dao lên tới vài trăm mét mỗi giây, gần với tốc độ trung bình của phân tử. Và các phân tử khí được vận chuyển đến cổng xả bằng cách va chạm với nó. Khi lưỡi dao xoay được thiết lập để xoay phụ ở tốc độ cao, xác suất của các phân tử khí chuyển động từ phía hút sang bên xả là A, và xác suất các phân tử khí chuyển từ phía xả sang phía hút B. Lưỡi dao quay chạm vào các phân tử khí, sau đó các phân tử khí đánh vào lưỡi dao cố định và bay đến lưỡi quay tiếp theo, cuối cùng phân tử khí được đẩy ra cổng xả, làm cho A> B đạt được chức năng xả.

Tốc độ xả của bơm phân tử = Diện tích mở của mặt hút × 11.6 × A / Bp

Trong công thức, p đề cập đến giá trị tăng của áp suất.

Lớn hơn góc của lưỡi dao, tốc độ xả cao hơn nhỏ hơn tỷ lệ nén. Nếu góc của lưỡi dao nhỏ, tốc độ xả thấp và tỷ lệ nén lớn. Tốc độ xả của bơm phân tử gần như không bị ảnh hưởng bởi loại khí, và áp suất cuối cùng của máy bơm có thể là 10-8 Pa, nhưng tốc độ xả sẽ giảm cho các phân tử / nguyên tử ánh sáng.

Là một loại bơm cơ học với tốc độ quay cao, bơm phân tử đòi hỏi sự cân bằng cao và nó rất mỏng manh đối với vật chất lạ. Vì vậy, thường là một bộ lọc kim loại được cài đặt ở đầu vào của nó. Khi bơm phân tử hoạt động, các lưỡi dao có thể bị hỏng nếu áp suất đột ngột giảm đi.

Hình 1 Sơ đồ cấu trúc và sơ đồ của bơm phân tử

Máy bơm phân tử thông thường sử dụng vòng bi để đảm bảo tốc độ quay cao của lưỡi dao. Nhưng bơm phân tử kiểu mới thông qua cấu trúc bay lên từ, làm cho tốc độ của lưỡi dao liên tục tăng lên, và đồng thời bơm phân tử phù hợp hơn với hệ thống chân không cực cao, nó kéo dài tuổi thọ của bơm phân tử.

So với máy bơm cánh quạt quay kín dầu và máy bơm khô kiểu tuabin, máy bơm phân tử có môi trường làm việc sạch hơn và có thể đạt được mức chân không rất cao. Tuy nhiên, máy bơm phân tử không thể hoạt động ở áp suất khí quyển, và nó phải được sử dụng kết hợp với các máy bơm chân không thô khác (bơm cánh quạt kín dầu hoặc bơm tăng áp) có thể hoạt động ở áp suất khí quyển. Bơm phân tử có cấu trúc phức tạp và giá thành cao, và có dao động trong khi quay tốc độ cao.