Cấu trúc của máy đo chân không kháng (Pirani Vacuum Gauge)
May 28, 2018| Các máy đo chân không kháng, còn được gọi là đo Pirani, phản ánh những thay đổi áp lực dựa trên những thay đổi của kháng dây nóng. Nó chủ yếu bao gồm các mạch đo và đo. Phạm vi đo của nó là 104 đến 10-1 Pa.
Cấu trúc của máy đo điện trở được thể hiện trong hình 1. Một vết thương dây xoắn ốc hình trụ với một dây điện trở hệ số nhiệt độ cao được đóng gói trong vỏ điều chỉnh. Cả hai đầu của dây nóng được dẫn ra ống đo và kết nối đường đo. Vỏ đo có thể được làm bằng kim loại hoặc thủy tinh. Vỏ kim loại có ưu điểm về độ bền, loại bỏ thuận tiện các sợi nóng, vv Những nhược điểm là hiệu suất bịt kín kém và giá thành cao. Vỏ thủy tinh có lợi thế về hiệu suất bịt kín tốt và giá thành thấp, và nhược điểm là nó dễ bị hỏng.
Hệ số nhiệt độ điện trở và điện trở suất của một số dây điện kháng dây nóng được thể hiện trong Bảng 4-1, trong đó vonfram, bạch kim và niken thường được sử dụng. Để đảm bảo sự ổn định làm việc của dây nóng, ngoài việc làm sạch bề mặt của dây nóng, đôi khi một lớp mỏng thủy tinh, thạch anh hoặc tantali được áp dụng trên bề mặt của dây nóng để tránh quá trình oxy hóa hoặc ô nhiễm nóng dây khi nó được sử dụng dưới áp lực cao. Nhưng người ta tin rằng phương pháp này sẽ làm tăng quán tính nhiệt của nó.
Kim loại: vonfram bạch kim niken crom iridium molypden đồng sắt bạc
Nhiệt độ kháng
Hệ số trong 0 ℃ 4.82 3.9 6.0 2.5 4.1 4.71 6.0 4.3 4.29
(10 -3 · ℃ -1 )
Điện trở suất trong 0 ℃ 5.1 9.2-9.6 6.84 12.9 4.85 5.71 9.7 1.67 1.59
px10 -8 (Ω · m)
Bảng 4-1 Hệ số nhiệt độ kháng và điện trở suất của một số kim loại