Kỹ thuật phát hiện rò rỉ tốt nhất cho máy PVD Coating
Apr 16, 2018| Phát hiện phương pháp bong bóng
Phát hiện phương pháp bong bóng lớp phủ PVD được ưu tiên cho các thùng chứa sơn PVD hoặc các thiết bị đang được xử lý. Phát hiện phương pháp bong bóng lớp phủ PVD có nghĩa là làm đầy phần thử nghiệm với một dấu hiệu rò rỉ áp suất nhất định, và sau đó đưa phần thử vào chất lỏng. Khí sẽ đi vào chất lỏng xung quanh qua lỗ rò rỉ để tạo thành bong bóng. Và nơi có bong bóng là vị trí của lỗ rò rỉ. Hơn nữa, tỷ lệ rò rỉ của lỗ có thể được ước tính theo tỷ lệ hình thành và kích thước của các bong bóng, cũng như các đặc tính vật lý của khí chỉ thị rò rỉ.
Phát hiện phương pháp Cover
Phát hiện phương pháp che phủ đề cập đến một phương pháp bao phủ toàn bộ thiết bị lớp phủ PVD với túi nhựa ethylene (bìa), và sau đó đổ đầy túi bằng helium, nghĩa là toàn bộ thùng chứa chân không được ngâm trong heli để phát hiện rò rỉ. Sau khi di tản hoàn toàn khí, làm cho van chính, van thô và van rò rỉ tắt. Và sau đó sử dụng máy đo chân không ion hóa BA để đo sự thay đổi áp suất tăng để xác định xem có rò rỉ hay không.
Lớp phủ PVD là tổng của sự gia tăng áp lực do rò rỉ khí và sự gia tăng áp suất gây ra bởi vật liệu khử khí, và cuối cùng nó là một sự gia tăng tuyến tính tỷ lệ thuận với thời gian. Khi đường cong lớp phủ PVD thể hiện trạng thái như được mô tả ở trên, điều đó có nghĩa là thiết bị bị rò rỉ. Khi không có rò rỉ và chỉ vật liệu bị khử khí, đường cong phải bão hòa. Nếu chỉ có sự rò rỉ mà không có chất khử khí, nó là một đường thẳng tỉ lệ thuận với thời gian ngay từ đầu.