Nguyên nhân của sự không đồng đều của Magnetron Sputtered Coating

Không có vấn đề gì loại máy chi phí chân không, tính đồng nhất của lớp phủ sẽ bị ảnh hưởng bởi một yếu tố nhất định.

Hoạt động của máy tráng chân không phún xạ magnetron là làm cho các electron bắn phá các ion argon được hình thành bởi khí argon và sau đó bắn phá mục tiêu bằng từ trường trực giao dưới trạng thái chân không, và các ion mục tiêu được lắng đọng trên bề mặt phôi để tạo thành lớp phủ. Vì vậy, chúng ta có thể xem xét trạng thái chân không, từ trường và argon là ba khía cạnh liên quan đến độ đồng nhất của độ dày màng.

Trạng thái chân không được điều khiển bởi hệ thống bơm không khí. Mỗi cổng bơm phải được kích hoạt đồng thời theo cường độ phù hợp để đảm bảo tính đồng nhất của bơm. Nếu bơm không đồng đều, áp suất trong buồng chân không có thể đồng đều, vì áp suất có một số ảnh hưởng đến chuyển động của các ion. Ngoài ra, thời gian bơm phải được kiểm soát. Quá ngắn sẽ gây ra không đủ chân không, nhưng nó sẽ là một sự lãng phí tài nguyên nếu nó quá dài. Nhưng sự tồn tại của đồng hồ đo chân không làm cho nó cần thiết.

Từ trường hoạt động trực giao, nhưng không thể làm cho cường độ từ trường đồng nhất 100%. Nói chung, khi từ trường mạnh, độ dày màng sẽ lớn, và ngược lại, do đó độ dày của màng sẽ không phù hợp.

Tính đồng nhất của nguồn cung cấp khí argon cũng ảnh hưởng đến tính đồng nhất của lớp màng. Nguyên tắc tương tự như mức độ chân không. Do sự xâm nhập của khí argon, áp suất trong buồng chân không sẽ thay đổi tương ứng. Độ đồng nhất của độ dày màng có thể được điều khiển bởi áp suất đồng đều.

Mặc dù luôn luôn có một số yếu tố gây ra sự không đồng đều của bộ phim, nhưng tốc độ vượt qua của bộ phim là rất cao nếu hoạt động chính xác của máy sơn chân không được thực hiện.